판매용 중고 NANOMETRICS NanoSpec II #293817576

나노 메트릭 (NANOMETRICS) Nano Spec II는 반도체 제작에서 중요한 프로세스 제어를 위해 높은 정확도, 비파괴적 도량형을 위해 설계된 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. DUV 라이트 엔진, 검출기 암, 6 축 로봇 스테이지 및 소프트웨어 시스템의 4 가지 구성 요소로 구성됩니다. Nano Spec II의 라이트 엔진 (light engine) 은 반도체 응용 프로그램에 맞게 맞춤형 전용 광원을 사용합니다. 고강도, 짧은 맥박, 좁은 광선 스펙트럼을 제공하여 마이크로 일렉트로닉 부품의 매우 상세한 이미지를 생성합니다. 광원은 밝은 필드, 어두운 필드, 편광된 광원, 비스듬한 모니터, 스트로브 (strobed) 모니터 등 다양한 반사 모드에서 사용할 수 있습니다. 탐지기 암은 웨이퍼 또는 마스크의 광학 스캔을 위해 설계되었습니다. 웨이퍼 조사, 웨이퍼 간섭, 마스크 편광, 마스크 비교 현미경 및 마스크 적외선 현미경에 사용할 수 있습니다. 0.5 인치 ~ 8 인치 직경의 다양한 샘플 크기를 수용하도록 조정할 수 있습니다. 6축 로봇 (6-axis robot stage) 은 검토 대상 부품의 안정적이고 반복 가능한 위치를 제공하여 검사 스테이션 간에 샘플을 빠르고 정확하게 이동할 수 있습니다. 웨이퍼 처리 도구가 장착되어 있어 나노 메트릭 (NANOMETRICS) NenSpec II에 웨이퍼 로딩을 빠르게 수행할 수 있습니다. 소프트웨어 장치는 라이트 엔진의 자동 보정, 자동 이미지 획득 및 이미지 처리, 종합적인 데이터 분석 도구, 데이터 보기를위한 비주얼 인터페이스 (Visual Interface) 를 제공합니다. VFS (Virtual File Machine) 를 통해 사용자는 툴에 이미지를 관리하고 저장할 수 있습니다. 전반적으로, Nano Spec II는 반도체 산업의 마스크 및 웨이퍼 검사를위한 효과적인 자산입니다. 경량 엔진, 탐지기 암, 로봇 스테이지 및 소프트웨어 모델이 결합하여 마이크로 일렉트로닉 장치의 도량형 및 미세 분석을위한 자동 장비를 제공합니다. 이 시스템은 장기적인 안정성을 위해 설계되었으며, 중요한 반도체 부품에 대한 효율적이고, 정확하며, 재현 가능한 검사를 수행할 수 있습니다.