판매용 중고 NANOMETRICS NanoSpec AFT #9397749
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NANOMETRICS NenSpec AFT는 반도체 마스크 및 웨이퍼의 중요한 매개변수를 측정하도록 특별히 설계된 고급 OIS (Optical Inspection Equipment) 입니다. NANOMETRICS NANOSPEC/AFT는 비접촉 이미징 시스템을 사용하여 반도체 표면의 결함과 균일성을 빠르고 정확하게 감지합니다. 직접 이미지 센서 (Direct Image-Sensor) 이미징 구성을 통해 해상도와 감도를 향상시켜 빠르고 정확한 장애 감지 기능을 제공합니다. 유연하고 모듈식 장치는 고해상도 렌즈, 전동 XY 스캔 스테이지, 서브 미크론 동작 기능을위한 마이크로 조작기 (micro-manipulator) 를 포함한 다양한 구성 요소로 구성됩니다. 이 기계는 또한 고급 광학 장치 (optics and automated focus) 를 통합하여 측정의 최대 균일성과 정확성을 보장합니다. Nano Spec AFT의 소프트웨어 제어 인체 공학 워크스테이션은 직관적인 사용자 친화적 인 작업, 광범위한 분석/결함 감지 기능을 갖추고 있습니다. NANOSPEC/AFT 도구는 특정 응용 프로그램의 요구를 충족하도록 구성할 수 있습니다. 에셋은 입자 크기, 레이어 두께, 인터페이스 위치, 에치 속도, 균일성, 서피스 결함 감지 등 다양한 측정을 수행 할 수 있습니다. 이 모델은 다양한 반도체 재료와 함께 사용하기에 적합하며, 최대 직경 200 밀리미터 (200 mm) 의 마스크 (mask) 또는 웨이퍼 (wafer) 의 크기나 모양을 검사할 수 있습니다. 강력하고 정확한 NANOMETRICS Nano Spec AFT는 매우 정확하고 신뢰할 수있는 측정 정확도를 제공하여 반도체 프로세스의 중요한 영역에 대한 귀중한 통찰력을 얻을 수 있습니다. 장비의 신뢰성 있고 정확한 측정은 제조 이상 (manufacturing anomalies) 의 위험을 감지하고 최소화하는 데 매우 매력적인 선택입니다. 사용자 친화적인 소프트웨어와 손쉬운 설치 프로세스 (setup process) 를 통해 신속하고 안정적인 성능을 제공하여 프로세스 제어를 향상시켜 시간 (time) 과 비용 (money) 을 절약할 수 있습니다. NANOMETRICS NANOSPEC/AFT 시스템의 저렴한 비용, 구성 가능성 및 다재다능성으로 인해 수율 손실을 줄이려는 칩 제조업체에게는 탁월한 선택입니다. 이 장치는 다양한 반도체 설계와 소재 (material) 를 처리할 수 있으며, 특정 요구 사항을 충족시키기 위해 쉽게 조정할 수 있습니다. 이 기계의 유연성과 구성성 또한 "최대한의 제어 (control) '와" 정확성' 을 요구하는 칩 메이커에게 이상적인 옵션으로 자리잡았다.
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