판매용 중고 NANOMETRICS NanoSpec AFT #9066146
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NANOMETRICS Nano Spec AFT는 패턴 마스크 및 웨이퍼에서 선형 결함을 감지하는 데 사용되는 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 레이저 회절 영상 (LDI) 과 자동 레이저 빔 스캔 및 분석을 결합하여 결함을 빠르고 정확하게 감지하고 식별합니다. 또한 이러한 결함의 특성을 분석, 측정 할 수 있으며, 이를 통해 매우 정확한 측정이 가능합니다. NANOMETRICS NANOSPEC/AFT는 장치가 고속 및 정확도로 작동 할 수있는 여러 구성 요소로 구성됩니다. 이 기계에는 다중 시점 (Point of View) 구성의 매우 정확한 광학 스캐닝 툴이 포함되어 있어 초당 최대 15,000 개의 시야를 검사할 수 있습니다. 또한 고유하게 구성된 이미지 인수 (Uniquely Configured Image Acquisition) 및 스마트 레티클 (Smart Reticles) 을 통해 결함 이미지를 빠르고 정확하게 얻을 수 있습니다. 이 자산에는 Nanowise Data Processing Technology가 추가되어 NANOMETRICS가 결함의 모양, 위치, 크기를 빠르고 정확하게 측정 할 수 있습니다. 이 데이터 처리 기술은 최대 10kHz 속도의 데이터를 분석할 수 있습니다. 또한 직관적인 사용자 친화적 인터페이스 (user-friendly interface) 를 통해 필요에 따라 설정을 조작하고 조정할 수 있습니다. Nano Spec AFT는 10 ~ 100 나노 미터의 결함을 감지 할 수있는 가장 작은 결함조차도 검사하고 측정하는 데 능숙합니다. 이러한 기능을 결합하여 NANOSPEC/AFT는 비교할 수없는 속도, 정확성 및 결함 수준 검색을 제공합니다. 이 장비는 또한 다양한 마스크 (mask) 와 웨이퍼 (wafer) 재질과 호환되도록 설계되어 있어 유연성과 사용성이 향상되었습니다. 전반적으로, NANOMETRICS Nano Spec AFT는 향상된 속도와 정확도로 가장 작은 결함을 감지하고 측정 할 수있는 기능이 풍부한 마스크 및 웨이퍼 검사 시스템입니다. 이 장치는 사용자 친화적 인터페이스 (user-friendly interface) 와 결합된 초미세 결함 (ultrafine defect) 을 감지하고 측정할 수 있으며, 다양한 재료와의 호환성을 통해 고품질 (High Quality) 과 정확성을 필요로 하는 사용자에게 유용한 도구입니다.
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