판매용 중고 NANOMETRICS NanoSpec AFT #293661060

NANOMETRICS Nano Spec AFT는 고정밀 도량형 응용 프로그램을 위해 설계된 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 복잡한 마스크 및 웨이퍼 (wafer) 기능의 선명하고 상세한 이미지를 제공하기 위해 광범위한 옵토 전자 부품 제품군을 제공합니다. 이를 위해 두 가지 기본 구성 요소 (레이저 소스 이미징 장치 및 고급 이미징 헤드) 를 통합합니다. NANOMETRICS NANOSPEC/AFT의 레이저 소스 컴포넌트는 서브 나노 미터 (~ 1nm) 정확도로 피쳐 치수를 측정합니다. 3 채널 강화 CCD (ICCD) 카메라와 결합 된 8 채널 레이저 머신을 사용합니다. 이 도구는 고급 3D 이미징을 사용할 수 있으며, 오류 수정 및/또는 측정 응용 프로그램에 맞게 특별히 구성할 수 있습니다. 또한 광범위한 패턴 인식 (pattern recognition) 기술을 지원하며 마스크와 웨이퍼 기능을 모두 정확하고, 정확하며, 고해상도 이미징을 제공합니다. Nano Spec AFT의 이미징 헤드 컴포넌트 (Imaging head component) 는 0.5nm의 해상도로 웨이퍼 표면 및 피쳐의 고정밀 이미징을 제공합니다. 고반사 다축 고정밀 모터 스테이지가 포함되어 있습니다. 이 모듈을 사용하면 이미징 에셋을 웨이퍼 (wafer) 표면에 최적으로 정렬하기 위해 스테이지를 엄청나게 정확하게 제어할 수 있습니다. 이 모델은 또한 강력한 광학 격리 장비를 제공하여 주변 광원의 간섭을 제거하고 고해상도 이미징 (high-resolution imaging) 을 보장합니다. NANOSPEC/AFT는 고정밀 마스크 및 웨이퍼 검사에 가장 포괄적이고 비용 효율적인 솔루션입니다. 선 너비 및 코너 컷 (corner-cuts) 을 포함한 패턴의 피쳐 치수 및 오류 수정을 정확하게 측정 할 수 있습니다. 따라서, 공정 제어 및 제조 최적화를위한 귀중한 도구를 제공합니다. 이 시스템은 안정성이 높고 작동이 용이하여 생산 환경에 이상적입니다 (영문).