판매용 중고 NANOMETRICS NanoSpec AFT #293615480

NANOMETRICS NanoSpec AFT
ID: 293615480
Systems, parts systems.
NANOMETRICS의 NANOMETRICS Nano Spec AFT (Advanced Feature Technology) 는 고급 기능 및 특수 반도체 검사에 사용되는 최첨단 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 지능형 결함 조직과 함께 2D 및 3D 이미징을 위한 넓은 시야를 통해 높은 수준의 정확도 (Precision and Accurity) 를 제공합니다. NANOMETRICS NANOSPEC/AFT에는 고유한 SFS (Smart Feature Scan) 기능이 있으며, 이미지 선명도가 향상되고 이미지 이동이 없는 선명하고 불투명 한 기능을 모두 분석할 수 있습니다. 이 장치에는 배경 소음과 거짓 경보를 줄이기 위해 낮은 배경 광학 플래튼 (optical platen) 도 포함되어 있습니다. Nano Spec AFT의 광학 설계를 통해 고객은 조명 (light) 및 어두운 레벨 (dark level), 대비 임계값 (contrast threshold), 초점 조정 속도 등의 검사 매개변수를 조정할 수 있습니다. 또한 사용자는 여러 가지 D2D (Die-to-Die) 모드를 제공하여 전체 웨이퍼 전체에서 각 및 모든 다이에서 심각한 결함 감지, 분류 및 도량형을 수행 할 수 있습니다. 이 툴은 기존 운영 라인에 쉽게 통합할 수 있으며, 전체 자동화 지원 (full automation support) 을 제공하여 최대 수준의 선별 효율성을 보장합니다. 비전도적 (non-conductive) 피쳐 명암으로 감지하기에 충분히 큰 복잡한 결함을 식별 할 수 있습니다. NANOSPEC/AFT는 모자이크 (mosaicking) 및 톱질 (sawing) 결함, 작은 구덩이 및 긁힘과 같은 광학 및 주사 전자 현미경을 사용하여 감지하기 어려운 웨이퍼 결함을 분석하도록 설계되었습니다. 이 자산은 고해상도 (high resolution) 와 반복성 (repeatability) 을 가지고 있어 일반적으로 찾기 어려운 미세한 기능과 결함을 감지하는 데 매우 효과적입니다. 또한, 다이 레벨 결함을 쉽게 보고 검사하기 위해 내장 현미경이 포함되어 있습니다. NANOMETRICS Nano Spec AFT의 유연성과 효율성을 통해 사용자는 일관된 품질로 신뢰할 수있는 검사 결과를 얻을 수 있습니다. 또한 혁신적인 설계를 통해 프로세스 가동 시간을 극대화하고, 검사 처리량을 극대화하고, 생산능률을 높일 수 있습니다. 이 모델은 비용 및 번거로움이 최소화된 고급 기능 및 특수 반도체 (Specialty Semiconductor) 검사에 이상적입니다.
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