판매용 중고 NANOMETRICS NanoSpec AFT 4000 #9280325

ID: 9280325
Scanning UV spectrophotometer.
NANOMETRICS Nano Spec AFT 4000은 실리콘 웨이퍼에서 패턴화 된 장치 구조를 빠르고 정확하게 검사하기 위해 개발 된 최첨단 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 뛰어난 결함 민감도와 빠른 다이-투-다이 (die-to-die) 비교를 제공하므로 부품 다이 특성을 신속하게 분석하고 비교할 수 있습니다. NANOMETRICS NANOSPEC/AFT 4000에는 특허받은 다중 모드 스캔 기술이 적용되어 모든 유형의 결함을 감지합니다. 레이저 기반 장치는 디지털 홀로그래피 (digital holography) 를 사용하여 맨눈에 보이지 않는 미크론 수준의 결함을 감지합니다. 고해상도 카메라는 웨이퍼 표면의 고품질 패턴 및 구조 이미지를 캡처하며, 잔류 물, 긁힘, 부식, 공백, 교량 결함 등 다양한 결함을 감지하는 데 사용됩니다. Nano Spec 의 고급 제어기 (advanced control machine) 는 이미지 캡처 프로세스에 대한 자세한 피드백을 제공하도록 설계되었습니다. 또한 민감도, 장치 방향, 흥분 수준, 스캔 속도 등을 자동으로 조정하고, 출력을 모니터링하고, 결과를 전자 파일로 보고하는 데 사용할 수 있습니다. 성능을 최적화하기 위해, Nano Spec 은 여러 가지 강력한 조정 기능을 통해, 고객이 특정 요구 사항에 맞게 도구를 선택적으로 조정할 수 있게 해 줍니다. 이러한 기능에는 조정 가능한 조리개가 포함되어 있으며, 이는 작은 기능의 고품질 이미징을 가능하게합니다. 충전 수준의 동적 조정을 허용하는 동적 커패시턴스 제어; 즉, 특정 애플리케이션에 대한 결과를 최적화하는 데 도움이 되는 흥분 수준 (excitation level) 을 미세하게 튜닝합니다. 또한 Nano Spec은 자동 교정 에셋을 제공하며, 이 에셋은 이미지 캡처 매개변수를 빠르고 정확하게 설정합니다. 또한 이 모델을 사용하면 반복 테스트 (repeatable test) 시나리오를 설정할 수 있습니다. 따라서 각 테스트 설정은 실행에서 실행까지 일관됩니다. 또한 Nano Spec 은 모든 데이터 관리 기능을 제공하며, 이를 통해 고객은 테스트 결과를 저장, 확인, 분석할 수 있습니다. 또한 온라인 데이터베이스 (online database) 에 연결되므로 고객은 테스트 결과를 쉽게 공유하고 피어와 공동 작업을 수행할 수 있습니다. Nano Spec AFT 4000은 마스크 및 웨이퍼 검사 문제를 빠르고 정확하게 해결하기위한 이상적인 도구입니다. 고급 기능 (advanced features), 기능 (function), 성능 (performance) 의 조합으로 반도체의 내구성 테스트에 귀중한 도구입니다.
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