판매용 중고 NANOMETRICS NanoSpec AFT 4000 #9167097

NANOMETRICS Nano Spec AFT 4000은 빠르고 정확한 결과를 제공하기 위해 설계된 최첨단 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 시스템은 임계 치수 (CD) 에서 중첩 정밀도 (overlay accuracy) 에 이르기까지 다양한 기능을 검사할 수 있습니다. 고해상도 디지털 이미징 (digital imaging) 과 객관적 확대 (objective magnification) 기능을 통해 나노스케일 패턴과 기능을 자세히 분석할 수 있습니다. 이 장치에는 향상된 2D 이미징을 제공하기 위해 고유한 AccuView TM 이미지 개선 시스템이 장착 된 평면 패널 디스플레이가 있습니다. 자동화된 fiducial/feature 인식 도구와 확대/축소 기능을 통해 결함을 정확하게 시각화할 수 있습니다. 자산에는 결함 인식 소프트웨어, 자동 측정 및 보고가 포함 된 고급 도량형 패키지가 있습니다. 모델에는 자동 검사 모드 (automated inspection mode) 가 있는데, 이 모드는 연산자가 해당 웨이퍼 형상을 입력할 수 있고, 장비는 미리 정의된 매개변수에 따라 자동으로 웨이퍼에 결함이 있는지 검사합니다. NANOMETRICS NANOSPEC/AFT 4000에는 정확한 웨이퍼 포지셔닝을위한 모션 제어 및 데이터의 정확성을 보장하기 위해 웨이퍼 센터링을위한 XY 단계가 장착되어 있습니다. 사용하기 쉽고 직관적인 메뉴를 통해 탐색 할 수 있습니다. 또한, 웨이퍼의 정확한 수직 및 방위각 정렬을 위해 Autofocus 기능을 제공합니다. 이 시스템은 모듈식이므로, 기능을 향상시키기 위해 구성 요소를 쉽게 추가할 수 있습니다. 여기에는 180도 웨이퍼 회전에 대한 회전 가능한 웨이퍼 스테이지가 포함됩니다. 이 장치는 유지 보수가 부족하도록 제작되었으며 실시간 웨이퍼 데이터를 제공합니다. 데이터 수집 시스템 (Data Acquisition Machine) 을 활용하며, 데이터 저장 및 분석용 호스트 컴퓨터 (이벤트 로거 포함) 를 사용하여 검사 프로세스 중 기록을 추적합니다. 또한 SAFETYLOCKOUTTM 안전 기능이 장착되어 있으며 완전히 CE 및 ISO 인증을 받았습니다. Nano Spec AFT 4000 은 강력하고 정교한 마스크 및 웨이퍼 (wafer) 검사 툴로서 다양한 wafer geometry 및 기능에 대한 안정적이고 귀중한 분석 데이터를 제공합니다. 반도체 전문가가 빠르고 정확한 도량형 (metrology) 을 필요로 하는 데 이상적인 선택이다.