판매용 중고 NANOMETRICS NanoSpec AFT 3000 #293718588

ID: 293718588
빈티지: 1999
Film thickness measurement system M/N: 7200-2134 Rev P7 Stage: Dual platform, 3"/4" Objectives: 5x, 10x PC Processor: Pentium III 733 MHz Maxtor Hard Disk Drive (HDD), 41 GB RAM, 262144 K Keyboard Mouse Operating system: Windows 98 TRUSTPRO Lamp: + 12 VDC 1999 vintage.
NANOMETRICS Nano Spec AFT 3000은 나노 스케일 분석 및 제작을 위해 설계된 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 6축 컴퓨터 제어 조작기 (computer-controlled manipulator) 와 고해상도 이미징 장치 (high-resolution imaging unit) 가 장착된 자동 광학 포지셔닝 단계로 구성됩니다. 즉, 서브미크론 해상도로 오브젝트의 위치를 정확하게 지정할 수 있고, 대상 오브젝트에 의해 방출되고 전송되는 빛의 이미지를 캡처할 수 있습니다. Nano Spec AFT 3000은 단색 광원을 사용하여 대상 객체를 조사하고 검사합니다. 이 옵션은 픽셀 크기가 0.2 미크론 (0.2 미크론) 이하인 왜곡되지 않은 하향식 이미지를 캡처할 수 있으며 이미지를 2D 및 3D 형식으로 모두 표시할 수 있습니다. 조명을 조정할 수 있으며 기계는 연속 및 스팟 자동 초점이 모두 특징입니다. [고급 옵틱] 을 사용하면 이미지 왜곡 없이 정밀도가 높은 방식으로 정확한 측정이 가능합니다. NANOMETRICS Nano Spec AFT 3000에는 다양한 작업에 공구를 사용할 수있는 정교한 소프트웨어가 있습니다. 표본에서 피쳐의 크기와 위치를 측정하거나, 리소그래피 마스크, 베어 (bare) 및 배치 코팅 웨이퍼 (deposit-coated wafer), 집적 회로 (integrated circuit) 와 같은 피쳐를 검사하는 데 사용할 수 있습니다. 이 소프트웨어에는 정확한 반복 성과 저소음 결과를 제공하는 강력한 나노 미터 수준의 광자 강도 측정 엔진이 포함되어 있습니다. Nano Spec AFT 3000에는 전자 빔 리소그래피, 화학-기계-평면 화 및 서브미크론 웨이퍼 패턴을 포함한 표준 측정 기술 라이브러리도 포함되어 있습니다. 이 자산에는 통합 레이저 포커스 (laser focus) 모델도 포함되어 있어 샘플을 정확하게 배치하고 더 나은 이미징을 위해 집중할 수 있습니다. 장비에는 이미지 캡처를위한 내장 카메라와 프레임 그래버 (framegrabber) 가 추가로 장착되어 있습니다. NANOMETRICS Nano Spec AFT 3000은 고해상도 이미징 시스템으로 다양한 객체를 검사하여 정확성과 정확도를 보장합니다. 다양한 기능을 가능하게 하며 다양한 나노미터 (nanometer) 수준의 측정에 사용될 수있는 정교한 소프트웨어가 특징입니다. 자동화된 광학 포지셔닝 단계 (Optical Positioning Stage), 6축 조작기 (6축), 레이저 초점 장치 (Laser Focus Unit) 는 마스크 및 웨이퍼 검사를 위한 안정적이고 강력한 도구입니다.
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