판매용 중고 NANOMETRICS NanoSpec AFT 2100 #9100828
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NANOMETRICS Nano Spec AFT 2100은 강력한 마스크 및 웨이퍼 검사 시스템으로, 다양한 반도체 웨이퍼 유형에 대한 뛰어난 이미징 기능을 제공합니다. 멀티 패턴, 고급 리소그래피, EUV 기반 어플리케이션 등 가장 까다로운 반도체 프로세스 기술의 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다. Nano Spec AFT 2100은 전례없는 해상도와 이미징 충실도를 제공하여 업계 표준 테스트와 검사를 정확하고 효율적으로 수행할 수 있습니다. 이 시스템에는 듀얼 빔 (dual-beam) 옵티컬 컬럼 (optical column) 이 장착되어 있어 웨이퍼 상하면을 동시에 이미징할 수 있으므로 결함 검사를 동시에 수행할 수 있습니다. 또한 저조도 결함에 대한 뛰어난 감도를 제공하며, 20nm 이하의 크기의 결함을 감지 할 수있는 특수 광학 (optic) 을 갖추고 있습니다. NANOMETRICS NenSpec AFT 2100은 8, "12" 및 16 "웨이퍼와 같은 표준 웨이퍼 유형의 인수 및 이미지 처리와 직경이 최대 21" 인 특수 도량형 웨이퍼에서 작동 할 수 있습니다. 고속 회전 스테이지 (spinning stage), 자동 초점 기능, 3 차원 이미지 프로파일링 등의 다양한 기능이 장착되어 이미지 품질과 정확도를 향상시킵니다. Nano Spec AFT 2100에는 일상적인 검사를 자동화하고 잘못된 알람 속도를 낮추는 데 도움이 되는 고급 결함 분석 소프트웨어 (Advanced Defect Analysis Software) 제품군도 포함되어 있습니다. 내장 결함 분류 알고리즘을 사용하면 결함의 분석 및 분류가 가능하며, 순위는 0에서 5 사이입니다. 또한 자동 분석 (automated analysis) 옵션을 사용하여 오염, 패턴 결함, FIB 손상과 같은 특정 결함 피쳐를 신속하게 파악하고 분리할 수 있습니다. NANOMETRICS Nano Spec AFT 2021의 고급 이미징 기능은 반도체 마스크 및 웨이퍼 검사 작업에 완벽한 선택입니다. 탁월한 해상도, 이미지 처리 기능, 자동 결함 분석, 분류 기능을 제공합니다. 또한 고속 스테이지 회전, 자동 초점 기능, 3 차원 이미지 프로파일링과 같은 고급 기능으로 뛰어난 이미지 품질, 정확성을 보장합니다.
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