판매용 중고 NANOMETRICS NanoSpec AFT 210 #9280739
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ID: 9280739
웨이퍼 크기: 6"
Thickness measurement system, 6"
Head assembly
Photo Multiplier Tube (PMT)
PMT Socket
Optics
Nanospec 210 Computer
Nanospec CRT Monitor / Keyboard
Manual
Range of thicknesses: 100 to 500,000 Å
Typical measurement time: 2.5 seconds
Power supply
Spot size:
50 µm with 5x objective
25 µm with 10x objective
6.5 µm with 40x objective.
NANOMETRICS Nano Spec AFT 210은 전면 도량형, 결함 감지 및 기능 분석을위한 포괄적 인 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 반도체 제작에 사용하도록 설계된 이 시스템은 검사 프로세스를 자동화할 수 있는 사용이 간편한 플랫폼을 제공합니다 (영문). 이 플랫폼은 25mm 미만의 웨이퍼에 대한 소규모 부품 분석 기능을 갖추고 있습니다. 이 장치는 나노 스케일 변위 감지 기술을 사용하여 IC, 마이크로 부품 및 기타 컴포넌트의 photolithography 결함, 서피스 프로파일 및 기타 피쳐를 측정합니다. 이 기계는 또한 현재 분석, 광학 고장 검사, 발자국 분석 등의 기능을 사용하여 나노 스케일 (nanoscale) 수준의 결함 감지를 지원합니다. NANOMETRICS NANOSPEC/AFT 210은 기능을 향상시키기 위해 다양한 이미지 분석 및 측정 기능을 제공합니다. 통합 병합/분할 도구를 사용하면 Wafer 이미지를 구성 요소 매개 변수와 상호 연관시킬 수 있습니다. 에지 검출 (edge detection) 알고리즘은 피쳐 측정의 정확성을 향상시키는 데 도움이 되며, 내장형 정량적 결함 라이브러리 (quantitative defect library) 는 측정 및 결함 조건을 설정하고 분석하는 데 편리한 시각 원조를 제공합니다. 에셋의 인터페이스는 사용자 친화적이며, 운영자가 쉽게 매개변수를 선택하고, 수집한 데이터를 보고, 결과를 분석할 수 있습니다. 또한 품질 관리를 능률화하는 자동화된 결함 검토 모드를 제공합니다. 신뢰성 있는 이미징을 위한 고속 AutoFocus (AutoFocus) 기능과 최대 2 개의 각도를 동시에 측정할 수있는 장착 된 다각도 측정 기능이 장착되어 있습니다. 이 모델은 또한 구성 가능한 검사 모드를 제공하여 정확성과 신뢰성을 보장합니다. Nano Spec AFT 210은 마스크 및 웨이퍼 검사를 위한 효율적이고 포괄적인 솔루션을 제공합니다. nanoscale 결함 감지 기능, 사용자 친화적 인터페이스, 고속 AutoFocus 기능, 광범위한 이미지 분석/측정 기능을 통해 반도체 제조 프로세스에서 품질 검사를 위한 안정적이고 효율적인 플랫폼입니다.
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