판매용 중고 NANOMETRICS NanoSpec AFT 180 #9226130
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NANOMETRICS NenSpec AFT 180은 고급 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 반도체 장치의 미세한 결함을 파악할 수 있는, 완전히 자동화된, 정확한, 고대비 결함 검사 솔루션을 제공합니다. 이 웨이퍼 및 마스크 검사 장치 (wafer and mask inspection unit) 에는 컴퓨터 제어 스테이지가 있어 다양한 마스크 및 웨이퍼 크기에서 데이터를 수집 할 수 있습니다. 고급 이미징 알고리즘 (advanced imaging algorithms) 을 사용하여 기계는 마스크 또는 웨이퍼 재료 (wafer material) 에 최대 180m 깊이를 스캔하여 결함 및 이상, 마스크 또는 웨이퍼 디자인의 편차를 감지할 수 있습니다. 이 도구는 또한 다중 레벨 패턴 (multi-level pattern) 과 포토마스크 결함 (photomask defect) 을 검사할 수 있으므로 정밀한 작업에 적합합니다. 이 에셋으로 캡처할 수 있는 고해상도 디지털 이미지를 통해 엔지니어들은 '제조 오류 (manufacturing error)' 를 진단하고 수정할 수 있습니다. 또한 Nano Spec AFT 180에는 향상된 해상도 모드 (Resolution Mode) 가 있어 모델이 피쳐를 이미지화하고 마스크에서 최대 50nm까지 결함이 있습니다. 또한 고속 (High-Speed) 모드를 통해 큰 개체를 빠르게 스캔하여 실시간으로 최대 10 미크론 기능을 검사할 수 있습니다. 이 장비는 또한 자동 초점, 확대, 초점 깊이, 스티칭과 같은 여러 데이터 세트를 제공합니다. 또한 이 시스템은 사용자 친화적 인터페이스 (user-friendly interface) 를 통해 사용자가 장치 기능을 탐색하고 사용할 수 있도록 설계되었습니다. 기계가 중단 없이 장기간 작동할 수 있도록 도와주는 "fail-safe (안전) '메커니즘으로 만들어졌다. 이 도구는 또한 고급 열 관리 자산 (Advanced Thermal Management Asset) 을 사용하여 검사 프로세스의 열 효과를 최소화합니다. 전반적으로 NANOMETRICS Nano Spec AFT 180은 고급 고성능 마스크 및 웨이퍼 검사 모델입니다. 신뢰성 있고 정확하며, 고급 마스크 (mask) 및 웨이퍼 (wafer) 검사 솔루션을 찾는 조직에 이상적인 선택입니다.
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