판매용 중고 NANOMETRICS NanoSpec 9300 #9241654
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NANOMETRICS의 NANOMETRICS Nano Spec 9300은 마스크 및 웨이퍼의 중요한 기능을 검사하기 위해 더 높은 해상도, 높은 정확도 및 향상된 처리량을 제공하는 차세대 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 마스크 및 웨이퍼를 최대 정확도로 정렬하기 위한 완전 자동화된 VEDS (Video Edge Detection System) 입니다. Nano Spec 9300은 고급 VEDS (Advanced VEDS) 를 사용하여 고속 정렬을 수행하고, 중요한 회로 기능에서 미크론 수준의 차이를 정확하게 감지하며, 마스크와 웨이퍼의 전체 필드 이미지를 신속하게 캡처합니다. 이렇게 하면 기계 는 5 "나노미터 '의 해상도 까지" 웨이퍼' 를 검사 할 수 있고, 0.2 "나노미터 '의 크기 로 결함 을 정확 히 탐지 할 수 있다. 또한 NANOMETRICS Nano Spec 9300은 표준 마스크와 웨이퍼, 그리고 박막, MEMS 및 FinFET을 포함한 고급 기술을 모두 검사 할 수 있습니다. 이 도구는 또한 +/-25 nm 이상의 밀도 (C.O.M) 의 정밀도로 패턴 균일성을 측정하고 잘못된 정렬을 찾을 수 있습니다. 이 자산에는 효율적이고 정확한 검사 프로세스를 보장하는 몇 가지 강력한 자동화 도구가 포함되어 있습니다. 여기에는 마스크의 특정 영역을 스캔 및 필터링하는 DFE (Dynamic Field Editing), 더 많은 주의가 필요한 특정 영역에 초점을 맞추는 Targeted Scanning, 다른 마스크나 웨이퍼의 데이터를 빠르게 비교하는 ExactMatch 및 Automated Report Generator가 포함됩니다. 또한 Nano Spec 9300 은 사용하기 쉬운 사용자 인터페이스를 제공하며, 기존 소프트웨어 애플리케이션과 쉽게 통합됩니다. 또한 모듈식 (modular) 유지 보수 친화적 설계를 통해 사용자 워크로드 및 다운타임을 줄여주는 '매우 신뢰성 있는' 모델로 설계되었습니다. 전반적으로 NANOMETRICS의 NANOMETRICS NanSpec 9300은 고급 마스크 및 웨이퍼 검사 응용 프로그램을위한 이상적인 장비입니다. 탁월한 정확성, 고급 자동화 도구, 사용자 친화적 인터페이스를 결합하여 빠르고, 안정적이며, 정확한 검사 프로세스를 보장합니다.
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