판매용 중고 NANOMETRICS NanoSpec 9200 #293765070
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NANOMETRICS Nano Spec 9200은 고급 마스크 및 웨이퍼 검사 장비로, 마스크 및 IC 제작에 탁월한 정확성과 생산성을 제공합니다. 기술 전문가가 다양한 기판의 기능을 빠르고, 정확하게 식별, 분석, 측정할 수 있도록 설계되었습니다 (영문). Nano Spec은 정교한 알고리즘을 사용하여 기능을 최고 수준의 정확도로 감지, 정량화, 매핑하는 마스크 방식의 고해상도 (high-resolution) 광 스캐닝 시스템을 사용합니다. 이 장치는 기술자가 신속하고 정확하게 측정하기 쉽도록 설계되었으며, 시간과 노력을 줄여줍니다. Nano Spec에는 마스크 및 웨이퍼 스테이지가 있으며, 한 번에 최대 75mm2의 영역을 스캔하는 데 사용할 수 있습니다. 이 기계에는 고해상도 광학 현미경 (optical microscope) 이 내장되어 있어 시야가 더 넓습니다. 광학은 서보 모터 (servo motor) 와 엑스 스테이지 (x-y stage) 에 의해 제어되므로 사용자가 관심 대상을 빠르게 스캔 할 수 있습니다. 또한, 도구의 고급 탐지 기술을 통해 사용자는 나노 미터 (nanometer) 수준에서 결함을 쉽게 감지 할 수 있습니다. 또한 자산에는 다양한 소프트웨어 패키지가 포함되어 있어 곡물 크기 (Grain size), 횡단면 (Cross-Section), 두께 (Thickness) 등 다양한 기능을 분석할 수 있습니다. 이 소프트웨어는 종단간 솔루션을 위해 독립적으로 실행되거나 다른 시스템 (예: 철저한 결함 분석 소프트웨어) 과 통합될 수 있습니다. 또한, 이 모델은 기존 툴/프로세스와 통합하기 위해 다른 모든 소프트웨어/하드웨어와 호환되도록 설계되었습니다. 고해상도 옵틱 (optic) 과 소프트웨어 이외에도 강력한 하드웨어가 장착되어 있다. 여기에는 8 코어 프로세서, 16GB RAM, 50GB 내부 스토리지, 이더넷 연결 및 산업 등급 제어 소프트웨어가 포함됩니다. 이 장비는 사용자가 작업별 분석을 수행하고, 데이터를 조작하고, 3 차원 구조의 두께를 측정하고, 복잡한 결함 보고서를 수행할 수 있도록 합니다. 전체적으로, Nano Spec 9200은 강력한 하드웨어 및 소프트웨어 재조합으로 가득하여 사용자에게 가장 정확하고 효율적인 마스크, 웨이퍼 검사 장비를 제공합니다. 생산 및 연구 응용 모두에 적합합니다.
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