판매용 중고 NANOMETRICS NanoSpec 9200 #293610084
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NANOMETRICS Nano Spec 9200은 고도로 풍부하고 풍부한 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 고급 자동 광학 검사, 패턴 인식 (pattern recognition) 및 레이저 기반 현미경 기술을 결합하여 고해상도 웨이퍼 검사를 제공하므로 반도체 웨이퍼에 대한 정확하고 반복 가능한 조사를 수행할 수 있습니다. Nano Spec 9200은 검사 장치 (MOSFET, LAG 및 ILD 장치 (몇 개 이름 지정)) 및 유전체, 결함 감지, 광학 오버레이 정렬 등 다양한 검사 작업에 사용할 수 있습니다. 이 시스템에는 강력한 온보드 컴퓨터, 애플리케이션별 소프트웨어, 최첨단 옵틱 (optic) 이 장착되어 있어 정확하고 안정적인 이미지 입수를 보장합니다. 100 배의 오브젝티브 렌즈 (objective lens) 가 장착되어 있어 확대율이 높은 오브젝트 이미지를 볼 수 있습니다. 또한, NANOMETRICS Nano Spec 9200은 미세 물체의 고해상도 이미지를 생성 할 수 있으며, 미세 구조 결함 및 입자 분포를 철저하고 정확하게 분석 할 수 있습니다. 이 장치의 고급 이미징/감지 기능은 자동화된 기능과 패턴 인식 (pattern recognition) 기술로 향상되었습니다. 자동 검사 기능 (Automated Inspection Features) 을 프로그래밍하여 검사되는 장치의 특정 패턴 또는 매개변수를 식별할 수 있으므로 식별 프로세스를 쉽고 안정적으로 수행할 수 있습니다. 기계는 또한 주어진 매개변수에 대한 정량적 (quantitative) 데이터를 제공할 수 있으며, 검사된 각 장치에 대해 포괄적인 보고서를 생성할 수 있습니다. 또한 Nano Spec 9200에는 선택 가능한 레이저 측정 (selectable laser measurement) 옵션이 있으며, 이는 정확한 측정뿐만 아니라 미세 구조의 정량지도 및 이미지를 생성 할 수 있습니다. 이 레이저 (Laser) 옵션을 사용하면 예제의 결함 또는 불일치를 감지하기 위해 미세 구조의 변경 사항을 모니터링할 수 있습니다. 자산의 사용자 인터페이스 (User Interface of the Asset) 는 사용자 친화적이고 직관적으로 설계되어, 사용자가 신속하게 자신의 실험을 구성하고 수행할 수 있도록 해줍니다. 또한, NANOMETRICS Nano Spec 9200은 다양한 크기와 옵션으로 제공되므로 구성의 유연성을 극대화할 수 있습니다. 궁극적으로 Nano Spec 9200은 강력하고 다양한 모델이며, 특히 효율적이고 정확한 마스크 및 웨이퍼 검사를 위해 설계되었습니다. 고급 자동화 (Advanced Automation), 이미징 (Imaging) 기능 및 레이저 측정 옵션의 조합으로, 미세한 물체에 대한 정확하고 안정적인 검사가 필요한 모든 응용 프로그램에 이상적입니다.
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