판매용 중고 NANOMETRICS NanoSpec 9100 #9300303

NANOMETRICS NanoSpec 9100
ID: 9300303
웨이퍼 크기: 6"
Film thickness measurement systems, 6".
NANOMETRICS Nano Spec 9100은 고성능 자동 광학 검사를 위해 설계된 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 정교한 이미지 처리 알고리즘을 사용하여 다이 레벨, 웨이퍼 레벨, 마스크 레벨 장치의 기능을 식별하고 분류합니다. 자동 광학 검사 작업을 통해 다이 (die), 웨이퍼 (wafer), 마스크 (mask) 샘플을 빠르고 정확하며 반복적으로 검사할 수 있습니다. 검사 프로세스는 실시간 디지털 이미징 (digital imaging) 을 활용하여 결함 이미지를 캡처합니다. 이 이미지는 전용 소프트웨어 인터페이스에서 처리됩니다. 이 장치는 내장형 고해상도 CCD (High-Resolution CCD) 카메라와 다양한 어플리케이션 요구를 충족하도록 구성된 특수 옵틱 (Optics) 패키지를 사용하여 구성할 수 있습니다. 이 기계는 편광, 비스듬한 각도 조명, 레이저 회절 패턴, 백광 산란 등 다양한 조명 기술을 사용합니다. 또한 스크래치 (scratch), 얼룩 (stain), 돌출 (protrusion) 과 같은 특정 피쳐를 식별하고 분류할 수 있는 강력한 패턴 인식 소프트웨어 알고리즘을 지원합니다. Nano Spec 9100에는 넓은 시야가 있는 스캔 헤드 (scan head) 가 있어 다양한 샘플 크기와 모양을 동시에 검사할 수 있습니다. 이 도구는 초당 최대 10,000 픽셀의 속도로 고해상도 감지 (High Defect Detection) 정확도를 얻을 수 있습니다. 첨단 에지 탐지 (advanced edge detection) 기능을 통해 작은 결함을 감지할 수 있으며, 측정 정밀도가 높습니다. 자산은 또한 자동화된 결함 분류, 강력한 결함 분석 기능, 고급 (High-Grade) 운영자 제어 및 보고 기능 등 다양한 고급 기능을 자랑합니다. 또한 동시 다중 계층 장치 검사 및 웨이퍼 다이 레벨 검사를 제공 할 수 있습니다. 또한, 이 모델에는 사용자에게 친숙한 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 가 있어 기술 외 인력이 쉽게 운영할 수 있습니다. NANOMETRICS Nano Spec 9100은 프로세스 제어를 개선하고 스크랩 비용을 절감하려는 모든 생산 설비를 위한 비용 효율적인 도구입니다. 고품질 이미징과 강력한 인텔리전스 (Intelligence) 를 통해 가장 보기 어려운 결함을 감지할 수 있으며, 웨이퍼 (Wafer) 에서 웨이퍼 (Wafer), 마스크 (Mask to Mask) 에 이르기까지 가장 정확하고 반복 가능한 결과를 얻을 수 있습니다. 이 장비는 안정적이고 잘 설계된 마스크 (mask) 와 웨이퍼 (wafer) 검사 시스템을 찾는 사람에게 적합한 옵션입니다.
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