판매용 중고 NANOMETRICS NanoSpec 9100 #293749160

NANOMETRICS Nano Spec 9100은 반도체 장치 제작 응용 프로그램을 위해 설계된 고정밀 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 제품은 트랜지스터, 금속 레이어, 저항을 포함한 반도체 장치의 단일 레이어 및 다중 계층 패턴 구조에 대한 광학 및 전기 분석 (10nm 이하의 기능 크기 해상도) 을 제공합니다. Nano Spec 9100은 광범위한 기판에서 크기, 모양, 균일성, 접촉, 깊이, 편평성과 같은 정보를 캡처 할 수있는 포괄적인 시스템입니다. 이 장치에는 자체 정렬 카메라 (Self-Aligning Camera) 가 포함되어 있으며, 수동 조정 없이 기판 표면에서 광학 및 전기 데이터를 정확하게 캡처할 수 있으며, 패턴화되거나 분산되지 않은 샘플을 빠르고 효율적으로 이미징할 수 있습니다. 광학은 고해상도 작업을 위해 특별히 설계되었으며 위상 측정 현미경 (PMM), 고감도 광학 요소 감지 (HSOED) 및 병렬 감지 조명 (PDI) 과 같은 혁신적인 기능을 제공합니다. 이러한 시스템은 이미지에 극도의 해상도, 정확도, 반복성을 제공하며, 샘플의 작은 결함 및 변형을 시각화하는 고급 이미징 (advanced imaging) 기술을 제공합니다. 전기 검사를 위해 NANOMETRICS NunSpec 9100에는 C-V 측정, 캐리어 생성 매핑 및 신호 분석을 결합한 CCD On-Chip 도량형 (CCOM) 기계가 포함되어 있습니다. 이 도구는 50 nm 이하의 해상도로 웨이퍼 (wafer) 의 전기 신호를 기록하여 정확한 측정을 위해 고차원 데이터 패키지를 최적화 할 수 있습니다. CCOM 및 Optics 시스템 외에도 Nano Spec 9100에는 자동 데이터 필터링, 에지 감지 (Edge Detection), 인식 알고리즘 (Recognition) 등의 고급 포스트 프로세싱 기능이 포함되어 있어 검사 정확성과 속도를 향상시킵니다. 또한, 이 자산은 데이터 획득과 분석 모두를 위해 사용자 친화적 GUI (Graphical User Interface) 와 함께 사용하기 쉽습니다. NANOMETRICS Nano Spec 9100은 실험실 및 산업 환경에서 사용하도록 설계된 다용도 및 신뢰할 수있는 모델입니다. 즉, 정확성, 반복성, 고해상도 이미징 기능을 통해 반도체 장치 제작의 정확성을 모니터링하고 개선할 수 있는 강력한 툴입니다.