판매용 중고 NANOMETRICS NanoSpec 9010 #293625764
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ID: 293625764
빈티지: 2011
Film thickness measurement system
PN: 1000-50290
XENON Light source
LYNX Frame and robot
Measurement module
PAS Connectivity kit
PC: N2000
Operating system: Windows XP
2011 vintage.
NANOMETRICS Nano Spec 9010은 마스크 및 웨이퍼 검사 장비로, 고정밀 광학 현미경, 이미지 디지털화 시스템, 자동화된 결함 감지 및 사이징을위한 정교한 이미지 처리 알고리즘으로 구성되어 있습니다. 나노 메트릭 (NANOMETRICS) 은 매우 작은 구조적 결함을 감지하고 측정하는 데 탁월한 성능을 위해 특별히 설계했습니다. Nano Spec 9010에는 레이저 다이오드 (laser diode) 를 갖춘 이중 파장 구조 경량 장치 (dual-wavelength structured light unit) 가 장착되어 있으며, 이는 웨이퍼 또는 마스크 표면에 정밀 패턴을 투영하는 데 사용됩니다. 이 패턴은 표면 불규칙성과 상호 작용하므로, 정확한 3D 도량형으로 검출, 처리되어 매우 정확하고 정확한 결함 측정이 가능합니다. 이렇게 하면 기계 는 폭 과 길이 가 몇 "나노미터 '정도 되는 작은 특징 들 을 측정 할 수 있다. 또한 NANOMETRICS Nano Spec 9010에는 최대 25 개의 샘플을 동시에 이미징 할 수있는 고해상도 디지털 카메라가 있습니다. 이 도구의 컴팩트한 디자인과 유연하게 구성 가능한 광학 자산 (optic asset) 은 photoresist 검사에서 device failure 분석에 이르기까지 다양한 애플리케이션에 적합합니다. 또한 긁힘, 구덩이, 파손, 공허에 이르기까지 다양한 결함 유형을 감지하고 측정 할 수 있습니다. 또한 Nano Spec 9010에는 자동 결함 감지 (automated defect detection) 및 크기 조정 (sizing) 을 위한 고속 이미지 처리 알고리즘이 포함되어 있어 생산 라인에 사용하기 매우 편리합니다. NANOMETRICS Nano Spec 9010은 매우 작은 결함의 웨이퍼와 마스크를 검사하기 위한 강력하고 신뢰할 수 있는 툴로서, 제조업체가 생산의 문제를 빠르고, 정확하게 확인하고, 진단할 수 있습니다. 컴팩트하고 쉽게 구성할 수 있는 설계로 다양한 어플리케이션을 위한 최상의 선택이 가능하며, 강력한 이미징 (imaging) 및 분석 기능을 통해 품질 관리 (quality control) 를 위한 귀중한 툴이 될 수 있습니다.
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