판매용 중고 NANOMETRICS NanoSpec 8000X #9228101

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ID: 9228101
웨이퍼 크기: 6"
빈티지: 1998
Thin film measurement system, 6" Type: P5 With ellipsometer 1998 vintage.
NANOMETRICS Nano Spec 8000X는 웨이퍼 기판 및/또는 마스크를 빠르고 정확하게 검사하도록 설계된 전문 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 최첨단 검사 (Advanced Inspection) 기능을 위해 견고한 개방형 아키텍처와 결합된 컴팩트한 디자인을 자랑합니다. Nano Spec 8000X는 연구 및 생산 환경 모두에서 웨이퍼 (wafer) 기판 및 마스크의 물리적, 광학적 특성을 자세히 측정하도록 설계되었습니다. 통합 CCD 카메라는 기판 및 마스크 재료의 상세한 이미지를 캡처하는 데 사용되며, 이는 결함, 에칭 너비, 오버레이 정확도와 같은 중요한 속성에 대해 분석 할 수 있습니다. 또한 NANOMETRICS Nano Spec 8000X는 광학 요소를 보다 정확하게 검사하고 측정 할 수도 있습니다. Nano Spec 8000X는 통합 간섭 광학 시스템으로 레이저 소스를 활용하여 이러한 요소를 자세히 측정 할 수 있습니다. 또한, 표면 거칠기 (surface roughness) 와 같은 다른 매개변수뿐만 아니라 빛의 반사율을 측정 할 수 있습니다. 또한 사용자는 ALSS (Advanced Laser Scanner Unit) 를 통해 특정 응용 프로그램에 대한 스캔 매개 변수를 전문화 할 수 있습니다. NANOMETRICS Nano Spec 8000X는 매우 사용자 친화적이며, 높은 처리량, 강력한 프로세서, 단순한 GUI 기반 운영 체제, 뛰어난 이미지 분석 기능 등의 고급 기능을 통해 설계되었습니다. 또한 다양한 기능을 통해 모든 형식의 파일을 처리, 분석할 수 있으므로 유연성 (Flexible) 이 뛰어납니다. 또한, Nano Spec 8000X는 여러 수준의 자동화를 사용하여 높은 샘플 처리량을 포함하는 애플리케이션에 적합합니다. 이러한 자동화 수준에는 자동 초점 (auto-focus) 및 오버레이 (overlay) 보상과 자동 웨이퍼 평가 및 분류가 포함됩니다. 뛰어난 보정 정확성 덕분에, 사용자는 NANOMETRICS Nano Spec 8000X가 광범위한 프로세스 관련 매개변수에 대한 신뢰할 수있는 결과를 얻을 수 있습니다. 결론적으로, Nano Spec 8000X는 웨이퍼 기판 및 마스크 재료를 정확하게 측정하도록 설계된 우수한 전문가 등급 검사 도구입니다. 높은 처리량, 강력한 프로세서, 간편한 GUI 기반 운영 자산, 탁월한 이미지 분석 기능 등 첨단 기능을 바탕으로 설계되어 있어 연구/운영 환경을 위한 탁월한 선택입니다 (영문).
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