판매용 중고 NANOMETRICS NanoSpec 8000 #9241928
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판매
ID: 9241928
빈티지: 1997
Automated film thickness metrology system
Film types measured:
Typical range:
Single layer films:
Visible: 200 Å - 30 µm
UV: 25-500 Å
Double layer films:
Visible:
Top layer: 100-30000 Å
Bottom layer: 100-10000 Å
Single layer thick films:
Visible: 4-30 µm
Absolute and relative reflectance:
Visible: 400-800 nm
UV: 210-400 nm
Oxide on poly:
UV: 150-10000 Å
Oxide on metal:
Visible: 3000-20000 Å
UV: 500-5000 Å
Refractive index: 1000-10000 Å
Typical precision:
Single layer films:
Visible: 0.1% or 2 Å min
UV: <1 Å
Double layer films:
Visible:
Top layer: 0.1% or 2 Å min
Bottom layer: 0.1% or 2 Å min
Single layer thick films:
Visible: 0.5%
Absolute and relative reflectance:
Visible: <0.4%
UV: <0.4%
Oxide on poly:
UV: 0.1% or 2 Å min
Oxide on metal:
Visible: 0.1% or 3 Å min
UV: 0.1% or 3 Å min
Refractive index: 0.0005
1997 vintage.
NANOMETRICS Nano Spec 8000은 마이크로 및 나노 스케일 장치 제작의 결함 감지를 위해 설계된 NANOMETRICS의 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 정확한 결함 검사, 이미지 처리 및 데이터 획득 기능을 위해 매개 변수 기반 알고리즘 필터가있는 자동 소프트웨어 단위 (Automated Software Unit) 를 갖추고 있습니다. 최대 이미지 해상도는 10um/픽셀이며, 제조 공정에 사용되는 재료의 광 (optical) 및 전기 (electrical) 특성 모두에 대해 사용자정의할 수있는 매개변수가 있습니다. 이 기계는 사용하기 쉽고, 영상 프로세스 자동화를 위해 모션 제어 (motion control) 와 정교한 소프트웨어가 장착되어 있습니다. 또한 이 프로세서에는 효율적인 데이터 수집을 위한 다양한 edge 및 pattern detection 기능이 포함되어 있습니다. Nano Spec 8000 은 고급 Optic 을 활용하여 선/가장자리 너비, 선/가장자리의 대칭, 처리 기능 심도 등 다양한 중요한 정보를 얻을 수 있습니다. 또한 4 방향 조명 도구 (Four-way Illumination Tool) 를 사용하여 고속 측정을위한 저각도 조명 (Low Angle Lighting), 해상도 요구 사항을 지원하는 집중 조명 (Focused Lighting) 등 이미징 조건의 이상적인 균형을 제공합니다. 나노 메트릭 (NANOMETRICS) Nano Spec 8000은 다양한 재료에서 다양한 수준의 복잡성에서 장치를 빠르고 정확하게 이미징 할 수 있습니다. Nano Spec 8000 은 워크플로의 복잡성을 줄이고 처리량을 최대화할 수 있도록 설계되었습니다. 즉, 지능적이고 프로그래밍 가능한 인터페이스가 장착되어 있어, 가장 복잡한 이미징 측정까지 손쉽게 수행할 수 있습니다. 또한 자산은 효율적이고, 안전하며, 안전한 데이터 처리를 보장합니다. 결론적으로, NANOMETRICS Nano Spec 8000은 마스크 및 웨이퍼 제작을 포함한 다양한 검사 작업에 사용됩니다. 이 제품은 결함 감지를 위한 고해상도 이미징 (High Resolution Imaging) 기능을 제공하며 효율성을 극대화하는 직관적인 사용자 인터페이스를 갖추고 있습니다. 또한 데이터를 손쉽게 수집할 수 있도록 다양한 이미지 처리 기능, 에지/패턴 감지 툴 (edge/pattern detection tools), 그리고 데이터 스토리지를 위한 안전한 플랫폼을 제공합니다.
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