판매용 중고 NANOMETRICS NanoSpec 6100 #9265795

NANOMETRICS Nano Spec 6100은 광학 및 포토 마스크 기판의 정밀, 고해상도 이미징을 허용하도록 설계된 종합적인 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 광학 포토마스크, 저항기, 커패시터 등 다양한 장치의 디지털 (digital) 및 아날로그 (analog) 구성 요소의 검사, 테스트 및 검증 프로세스를 지원합니다. Nano Spec 6100은 LED 조명, RGB 비디오 카메라 및 전동 무대와 같은 최첨단 이미징 기술을 사용합니다. 전동식 스테이지는 x, y, z 축에서 마스크 또는 웨이퍼 기판을 움직이며 빠르고 정확한 픽셀 위치를 허용합니다. 이 단계는 통합 자동 초점 장치 (autofocus unit) 를 특징으로하며, 이를 통해 기계는 정확한 이미징을 보장하기 위해 깊이 (depth of field) 를 빠르게 조정할 수 있습니다. 이것은 선 너비, 모양, 형태 등의 중요한 피쳐를 검사하는 데 매우 유용합니다. LED 조명은 기질 표면의 균일하고 반복 가능한 조명을 가능하게하여 높은 대비 이미징을 보장합니다. 이것은 RGB 비디오 카메라와 결합하여 다양한 크기의 마스크 (mask) 와 웨이퍼 (wafer) 를 검사 할 때 정확한 색상 분판을 허용합니다. 생산 또는 실험실 환경에서 사용하도록 설계된 NANOMETRICS Nano Spec 6100에는 많은 혁신적인 기능이 포함되어 있습니다. 여기에는 결함 탐지를 위한 자동 색상 처리 알고리즘, 결함 이미지의 실시간 처리, SPC 기능을 통한 결함 데이터 분석, 고해상도 이미지 캡처, 다중 뷰 각도 이미징, 최대 500nm 해상도의 측정 기능 등이 포함됩니다. 이 도구는 또한 자동 검사 에셋을 특징으로하며, 최대 8 미크론까지 빠르게 스크린할 수 있으며, 초당 최대 5 미크론의 속도로 높은 정밀도 결과를 얻을 수 있습니다. 전반적으로 Nano Spec 6100은 광범위한 마스크, 웨이퍼 (wafer) 조사 및 검증 프로세스에 사용할 수 있는 종합적인 검사 모델을 제공합니다. 장비의 Advanced Imaging Technologies, Motorized Stage, Automated Color Processing 및 High-Precision Measurement 기능은 장치를 높은 수준의 정확도로 측정 및 검증하려는 모든 생산 또는 실험실 환경에 이상적인 도구입니다.