판매용 중고 NANOMETRICS NanoSpec 6100 #9160215
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ID: 9160215
빈티지: 2003
Film thickness measurement system
Software version: 1.63
Wavelength:
Visible wavelength: 250 nm to 800 nm
White lamp (Halogen lamp)
UV Option
2003 vintage.
NANOMETRICS Nano Spec 6100은 차세대 최첨단 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 고속 자동 시스템은 다중 도량형 및 검사 작업의 빠르고 정확한 그래픽 특성을 제공합니다. 예를 들어, 다이 투 에지 (die to edge), 다이 투 다이 (die to die), 다이 에지 (die-edge) 위치 및 전체 마스크 결함을 측정합니다. 뛰어난 고화소 해상도로 Nano Spec 6100은 고급 표면/격자 분석을 제공합니다. NANOMETRICS Nano Spec 6100의 고급 제품 디자인에는 광학 탐색이 가능한 완전 전동, 컴퓨터 제어, 6 축 모터가 포함되어 있으며, 정확한 고해상도 스캐닝 및 보행 스캔 도량형 기술이 적용됩니다. 또한 원자력 현미경 (AFM) 및 나노 스크래치 도량형 (nanoscratch metrology) 을 포함한 다양한 나노 기계 도량형 기술과 호환되며, 이는 나노 미터 해상도 수준에서 표면의 특성화를위한 데이터 분석 및 3D 지형 프로파일 생성을 촉진합니다. Nano Spec 6100은 강력한 이미지 처리 및 분석 알고리즘을 제공하여 기능 인식, 분류, 특성을 자동화합니다. 또한 3D 및 2D 이미지 처리, 부분 간, 단면 및 모양 기반 비교와 같은 고급 검사 알고리즘이 있으며, 이는 신뢰할 수있는 결함 식별으로 이어집니다. 이 장치는 자동 결함 검사를 수행하며, 시각 자료 (visual data) 를 위치 정렬을 포함한 결함의 자동 정렬, 매개변수 비교, 최적화된 카탈로그 (cataloguing) 와 함께 분류된 결함 목록으로 변환합니다. NANOMETRICS Nano Spec 6100은 사용자 친화적이며 작동이 간편하며, 선명한 그래픽 사용자 인터페이스를 통해 매개변수 입력 (parameter entry) 및 결과 평가를 실시간으로 간편하게 수행할 수 있습니다. 또한 도량형 데이터 (metrology data), 감지된 오류 표시, 통계 요약 등 다양한 보고서와 그래픽 디스플레이 (graphical display) 를 통해 최고 수준의 검사 결과를 얻을 수 있습니다. Nano Spec 6100은 빠르고 정확하며 효율적인 차세대 마스크 및 웨이퍼 검사를 제공합니다. 이 기계는 다양한 강력한 도량형 및 검사 이점을 통해 반도체 제작, 평면 패널 디스플레이 (flat-panel display), 광학 검사 (optical inspection) 등 다양한 어플리케이션에 대한 원활하고 자동화된 검사 결과를 용이하게 제공합니다.
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