판매용 중고 NANOMETRICS NanoSpec 6100 #9021461

NANOMETRICS Nano Spec 6100은 마스크, 웨이퍼 검사 및 결함 제어에 대한 높은 정확성과 반복성을 제공하도록 설계된 고성능 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 최신 이미징 (Imaging) 및 측정 (Measurement) 기술을 활용하여 최고 품질의 디자인과 웨이퍼만 생산할 수 있습니다. Nano Spec 6100은 고급 패턴 인식 알고리즘 및 측정 (measuremnt) 기술을 활용하여 설계의 모든 이상점을 식별하고 표시하는, 마이크론 이하의 해상도와 정확도로 마스크 및 웨이퍼 결함을 검사합니다. 이 장치는 마스크 정렬 및 검증을 위해 RapidScan 레이저 이미징 (RapidScan laser imaging) 을 사용하여 더 큰 설계 공간에서도 전체 마스크 패턴과 웨이퍼에 대한 높은 정확도를 검사할 수 있습니다. 이 기계는 또한 고해상도 카메라 (High-resolution Camera) 를 통해 사후 분석을 위해 획득 한 재료를 이미지 캡처할 수 있습니다. 초점 (focus), 이동 (shift) 및 확대 (magnization) 측정이 동시에 가능하며 프로그래밍 가능한 조명 도구가 내장되어 있습니다. 사용자 보정 비용을 줄이기 위한 광 수정 (Optical Correction) 을 포함하여 다양한 사용자 정의 가능한 매개변수를 사용할 수 있습니다. NANOMETRICS Nano Spec 6100에는 다양한 자동 테스트 루틴 및 결함 측정 기능이 포함되어 있으며, 고급 결함 마스킹뿐만 아니라 설계 모델의 능률적인 분석 및 최적화가 가능합니다. 유연한 프로그래밍 기능과 테스트 패턴 (test pattern) 및 결함 측정 분석 (defect measurement analysis) 의 강력한 자동화 기능을 제공합니다. 처리량이 높은 애플리케이션의 경우 Nano Spec 6100은 멀티 챔버, 4 필드 10 웨이퍼 자동화 스테이션에서도 사용할 수 있습니다. 이 스테이션은 웨이퍼 당 최대 4 개의 필드 이미지를 사용하여 10 개의 웨이퍼를 동시에 테스트하고 분석 할 수 있습니다. 따라서 복잡한 어레이와 요소를 테스트할 때 상당한 시간이 절약됩니다. NANOMETRICS Nano Spec 6100은 웨이퍼 및 마스크 디자인을 분석 및 최적화하는 다용도 및 강력한 도구입니다. 높은 수치의 해상도, 반복 가능한 결과, 자동 테스트 루틴 (automated testing routine) 을 통해 사용자는 설계와 웨이퍼에서 가장 높은 품질과 정확도를 얻고 있다고 확신 할 수 있습니다.