판매용 중고 NANOMETRICS NanoSpec 6100 #293825987

ID: 293825987
빈티지: 2003
Film thickness measurement system 2003 vintage.
NANOMETRICS Nano Spec 6100은 반도체 산업을위한 고급 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. Nano Spec 6100은 수상 경력에 빛나는 ADI (Automatic Defect Inspection) 및 표면 분석을 지원하는 완벽한 검사 솔루션입니다. NANOMETRICS Nano Spec 6100은 밝은 이미지 시스템을 사용하여 마스크와 웨이퍼 검사에 뛰어난 이미지 해상도를 제공합니다. 이 장치에는 최적화 된 다각 산란 측정법 (multi-angle scatterometry) 이 장착되어 있어 단일 웨이퍼에서 복잡한 패턴의 3D 특성화가 가능합니다. 이 기계는 또한 FOA (Feature Overlap Analysis), LWSA (Line Width & Spacing Analysis), 임베디드 패턴 및 정렬 도량형 등 다양한 검사 매개 변수와 기능을 제공합니다. Nano Spec 6100은 마스크 및 웨이퍼 검사를위한 유연한 도량형 기능도 제공합니다. 이를 통해 사용자는 검사 매개변수, 전원, 스팟 크기를 사용자 정의하여 웨이퍼 검토 (Wafer Review) 및 칩 성능을 최적화할 수 있습니다. 또한 고급 3D 재구성 기능을 사용하여 오버행, CD 변형, 기울기 및 이동을 검사하여 더 높은 수율을 얻을 수 있습니다. 또한, NANOMETRICS Nano Spec 6100은 사용자 개입을 최소화하면서 빠르고 정확한 결과를 제공하기 위해 고도로 자동화된 검사 도구입니다. 이 제품은 사용하기 쉬운 GUI (Graphical User Interface) 와 다양한 측정 옵션 (특정 애플리케이션 요구 사항에 맞게) 을 갖춘 깨끗하고 직관적인 사용자 인터페이스를 제공합니다. 결론적으로 Nano Spec 6100은 마스크 및 웨이퍼 연구를위한 모든 포함 검사 솔루션을 제공합니다. 이 자산은 뛰어난 이미징 해상도, 자동화된 결함 분석, 맞춤형 스팟 크기, 유연한 도량형 기능 및 사용자에게 친숙한 GUI를 제공합니다. 따라서 NANOMETRICS Nano Spec 6100은 반도체 프로세스 및 웨이퍼 검사에 이상적인 선택입니다.
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