판매용 중고 NANOMETRICS NanoSpec 5100 #9223293
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ID: 9223293
웨이퍼 크기: 6"
빈티지: 1996
Thickness measurement system, 6"
Measurement wave (UV): 400 - 900
Source: Halogen lamp
Measurement time (sec): 5 (UV:7)
Measurement area (A): 100(40) – 75 μ
Auto focus: Edge detect
1996 vintage.
NANOMETRICS Nano Spec 5100은 고해상도 이미징 (High Resolution Imaging) 및 민감한 결함 감지 기능을 결합하여 집적 회로의 불규칙성을 확인하는 고급 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템을 사용하면 나노미터 (nanometer) 에서 밀리미터 (mm) 크기 범위까지 웨이퍼 (wafer) 및 마스크 (mask) 서피스의 특성을 정확하게 측정하고 모니터링할 수 있습니다. Nano Spec 5100은 고해상도 이미징 기능을 제공하는 최첨단 듀얼 빔 컨포컬 현미경 (Dual Beam Confocal Microscope) 을 통해 기능을 자세히 검사하고 결함을 감지 할 수 있습니다. 이 장치는 고속, 신뢰할 수있는 레이저 스캐닝 머신을 사용하여 반사 (reflective) 및 형광 (fluorescent) 모드 모두에서 웨이퍼 및 마스크 표면의 이미지를 얻습니다. 이 툴은 데이터 조작, 시각화 (Visualization), 보고 기능 뿐만 아니라 신속한 결함 분류, 수량화를 지원하는 고급 자동 이미지 분석 툴을 제공합니다. NANOMETRICS Nano Spec 5100은 또한 고급 패턴 인식 (pattern recognition) 자산을 제공하여 자동화된 결함 위치 및 분석 분류를 수행 할 수 있습니다. 이 모델은 선 너비, 공간, 중첩 등 다양한 형태 학적, 전기적 특성을 정확하게 측정 할 수 있습니다. 데이터 수집 및 분석을 위한 강력한 소프트웨어 패키지 (software package for data acquisition and analysis) 가 장착되어 있어 대용량 데이터 세트를 신속하게 처리하고 정확한 측정 결과를 도출할 수 있습니다. 또한 Nano Spec 5100은 입자 크기 조정, 표면 거칠기 및 지형 측정, 전압 대비 이미징, 코너 선명도 모니터링 등 다양한 정량적 도량형 기능을 제공합니다. 또한 PMOS, NMOS 및 MIS 트랜지스터를 정확하게 식별 할 수있는 자동 기능 인식 장비를 제공합니다. NANOMETRICS Nano Spec 5100은 강력하고 신뢰할 수있는 마스크 및 웨이퍼 검사 시스템으로, 사용자에게 집적 회로의 잠재적 결함을 정확하게 확인하고 평가하는 데 필요한 도구를 제공합니다. 고해상도 이미징, 자동화, 고급 데이터 분석 기능을 갖춘 Nano Spec 5100 은 제조 프로세스의 품질 보증을 위한 이상적인 툴입니다.
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