판매용 중고 NANOMETRICS NanoSpec 4150 #9407284
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NANOMETRICS Nano Spec 4150은 NANOMETRICS의 정교한 산업 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 높은 수준의 정확도와 속도로 마스크와 웨이퍼 (wafer) 를 검사하고 분석할 수 있도록 특별히 설계되었습니다. Nano Spec 4150은 MSS-4150 확대 해상도 검사 단계와 IPS-4100 이미지 처리 장치의 두 가지 보완 구성 요소로 구성됩니다. MSS-4150 배율 조절 스캐닝 스테이지 (Magnification Resolution Scanning Stage) 는 다양한 배율을 사용하여 마스크와 웨이퍼를 정확하게 검사하고 분석하는 자동 스캐닝 머신입니다. 최대 해상도는 500nm 인 25X ~ 1000X 범위의 확대가 가능합니다. 스캐닝 단계는 잘 제어 된 압전 액추에이터 (piezoelectric actuator) 를 포함한 정밀 드라이브 메커니즘에 의해 구동되며, 이는 높은 정확도와 반복 가능한 나노 미터 수준의 움직임을 허용합니다. 이 스테이지에는 고품질 샘플 검사를 위해 최적의 명암비, 선명도, 디테일을 제공하는 고급 조명, 이미징 광학 (optic) 도 장착되어 있습니다. IPS-4100 Image Processing Tool은 MSS-4150 Magnification Resolution Scanning Stage에서 가져온 이미지를 분석하고 해석하는 데 사용되는 고성능 이미지 분석 제품군입니다. 이 자산은 마스크 및 웨이퍼 (wafer) 에 대한 결함을 정확하게 감지하고 분석할 수 있는 강력한 최첨단 알고리즘으로 구축되었습니다. 또한 IPS-4100 모델에는 사용자 친화적인 그래픽 인터페이스 (Graphical Interface) 가 장착되어 있어 검사 매개변수를 빠르고 쉽게 수정하고 결과를 검토할 수 있습니다. 두 구성 요소의 효과를 최대화하기 위해 NANOMETRICS Nano Spec 4150에는 교정 인터페이스가 포함되어 있어 MSS-4150과 IPS-4100 구성 요소 간에 효율적이고 정확한 자동 전환이 가능합니다. 이렇게 하면, 한 구성 요소로 가져온 이미지를 다른 구성 요소로 전송하는 데 필요한 복잡성과 시간이 크게 단축되어, 자세한 분석 결과를 얻을 수 있습니다 (영문). Nano Spec 4150은 강력하고 다양한 마스크 및 웨이퍼 검사 장비로, 모든 산업 분야에 적합합니다. 고급 스캐닝 (Scanning) 및 이미지 처리 (Image Processing) 기능을 갖춘 이 시스템은 마스크와 웨이퍼에 매우 작은 결함이 있는 매우 정확하고 상세한 이미지를 생성할 수 있습니다. NANOMETRICS Nano Spec 4150은 사용 및 구성이 매우 용이하여 모든 마스크 및 웨이퍼 기반 산업에 이상적인 솔루션입니다.
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