판매용 중고 NANOMETRICS NanoSpec 4000 #9105592

NANOMETRICS NanoSpec 4000
ID: 9105592
Film thickness measurement system.
나노 메트릭 (NANOMETRICS) Nano Spec 4000은 패턴 필름 및 웨이퍼 검사 분야에서 탁월한 성능을 제공하도록 설계된 고급 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 고해상도 이미징 (High Resolution Imaging) 기능과 독보적인 소프트웨어 도구 집합을 결합한 Nano Spec 4000은 빠르고 신뢰할 수 있는 방식으로 웨이퍼 기판에 미세한 결함을 정확하게 감지하고 특성화하도록 설계되었습니다. NANOMETRICS NenSpec 4000은 반도체 레이저와 2 개의 고해상도 카메라로 구성된 이중 빔 이미징 시스템을 갖추고 있습니다. 카메라는 독점 2D 이미징 알고리즘을 사용하여 0.2 미크론 크기의 치수를 가진 기능을 감지하고 특성화합니다. 그런 다음 장치에 의해 수집된 데이터를 분석하여 강력한 시각화 도구 (Visualization Tools) 를 사용하여 표시합니다. 이 방법 들 을 통해서, 기계 는, 육안 으로 보이지 않는 결함 을 식별 할 수 있다. 이미지 처리 기능 외에도 Nano Spec 4000은 흉터 마스크 (scarred mask), 느슨한 입자 (loose particle), 핀홀 (Pinhole) 및 기타 부적합한 기능에 이르기까지 다양한 결함 유형을 감지 할 수 있습니다. 이 도구의 고급 탐지 전략에는 전통 (Traditional) 및 광학 검사 (Optical Inspection) 기술이 포함되어 있어 전례없는 수준의 정확성과 세부 사항을 제공합니다. 또한 NANOMETRICS Nano Spec 4000에는 다양한 자동 정렬 기능이 포함되어 있으므로 여러 기판에서 패턴을 정확하게 측정하고 비교할 수 있습니다. 기존의 광학 비교 (optical comparison) 알고리즘을 개선함으로써, 자산은 가장 미묘한 결함조차도 빠르고 정확하게 식별 할 수 있습니다. 정교한 이미징 및 감지 기능 외에도, Nano Spec 4000 은 다른 도량형 툴과 통합할 수 있는 기능도 갖추고 있습니다. 이를 통해 모델이 치수 분석 (dimensional analysis) 및 결함 밀도 측정 (defect density measurations) 과 같은 광범위한 도량형 작업에 대한 정확한 데이터를 제공 할 수 있습니다. 전반적으로 NANOMETRICS Nano Spec 4000은 안정적이고 정확한 결과를 제공하기 위해 설계된 고급 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 종합적인 이미징, 탐지, 분석 기능으로, 시스템은 다양한 서브 미크론 (sub-micron) 기판에서 결함 및 기타 비 호환 기능을 빠르고 정확하게 식별 할 수 있습니다.
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