판매용 중고 NANOMETRICS NanoSpec 3000 #9220802
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ID: 9220802
웨이퍼 크기: 3"-6"
빈티지: 2001
Film thickness measurement system, 3"-6"
Solid stage linear diode array detector
(15) Standard film types
Measurement time: 0.25 s to 4 s / site
Data management:
Statistical data analysis
Data export (ASCII)
Hardware configuration:
Optics: 10x
Spot size: 25 μm
Computer: 333 MHz PC With 3.2 G hard dive, 64 RAM
Performance:
Film: (3) Layers
Film thickness range: 250 A to 35 µm
Wavelength range: 480-800 nm
Reproducibility: <2 A
Electrical power:
Lamphouse: 50 W
117±5% VAC, 50/60 Hz, 5 A
230 V, 50/60 Hz, 2.5 A
2001 vintage.
NANOMETRICS Nano Spec 3000은 고성능 마스크 및 웨이퍼 검사 장비로, 고급 기술을 통합하여 고품질 이미징 및 다양한 결함 감지 기능을 제공합니다. Nano Spec 3000은 4 개의 채널을 사용하여 다양한 고해상도 이미지를 수집합니다. 즉, CMOS 기술과 고급 Optic을 활용하여 해상도와 명암비 모두 우수합니다. 4 개의 채널은 패턴 검사, CD 측정 및 오버레이 검사를위한 NIR (Near Infrared), 2D 모서리 및 웨이퍼 모양 스캔을위한 보라색 (Vis) 및 3D 지형 분석을위한 UV에서 볼 수 있습니다. 이러한 채널은 (으) 로 작동하여 사용자가 촬영한 이미지와 현재 결함에 대한 포괄적인 정보를 제공합니다. 이 시스템에는 통합 풀 필드 검색 엔진 (full-field search engine) 이 포함되어 있어 검사 시간을 단축하고 결함 이미지의 경향을 더욱 잘 보여줍니다. NANOMETRICS Nano Spec 3000에는 광범위한 샘플 마스크 및 웨이퍼 라이브러리가 포함되어 있으며, 빠른 설정과 비교, 고성능 결함 관리자 (Performance Defect Manager) 가 예상 장치 매개변수에 대한 잠재적 결함을 비교하여, 사용자에게 귀중한 결함 정보를 제공합니다. Nano Spec 3000에는 멀티 스테이지 웨이퍼 홀딩, 360도 웨이퍼 스캔, 고정밀 바늘 정렬 등의 고급 자동화 기능도 있습니다. 이러한 고급 기능을 통해 NANOMETRICS Nano Spec 3000은 변경 된 생산 조건에서도 빠르고, 정확하며, 반복 가능한 검사를 제공 할 수 있습니다. 또한, 이 장치에는 전체 워크플로를 제어하고, 측정을 편집하고, 테스트 이미지와 데이터에 대한 분석을 수행할 수 있는 고급 소프트웨어 (advanced software suite) 가 장착되어 있습니다. 신뢰성을 보장하기 위해 Nano Spec 3000 은 다양한 웨이퍼 기판 (wafer 기판) 과 두께 (thickness) 에 맞게 최적화되었으며, 이 기계는 적용 가능한 모든 안전 표준을 충족하도록 설계되었습니다. 신뢰할 수 있는 성능과 일관된 정확도로, 사용자는 NANOMETRICS Nano Spec 3000에 의존하여 뛰어난 웨이퍼 및 마스크 검사 결과를 얻을 수 있습니다.
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