판매용 중고 NANOMETRICS NanoSpec 212 #9217219

NANOMETRICS NanoSpec 212
ID: 9217219
웨이퍼 크기: 6"
Film measurement system, 6".
NANOMETRICS Nano Spec 212는 결합 된 레이저 및 경산란 측정 기술을 사용하는 고급 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 패턴 교정, 검사 패턴, 디테일 해상도 측정을 위해 패턴화된 포토 마스크 및 웨이퍼를 검사하는 응용 프로그램용으로 설계되었습니다. 업계 최고의 도량형 도구인 Nano Spec 212는 최고 속도, 최고의 반복성, 비접촉 (non-contact) 도구에서 사용할 수 있는 가장 정확한 이미징 기능을 제공합니다. NANOMETRICS NenSpec 212는 세 가지 주요 요소로 구성됩니다. 이들은 프로브 챔버, 조명 장치 및 검출기입니다. 프로브 챔버 (Probe Chamber) 는 스캐닝이 발생하는 매우 안정적인 환경을 만들도록 설계되었습니다. 기계의 고도로 동기화 된 작업은 짝수, 끊임없는 조명을 허용하여 큰 균일성을 초래합니다. 비구면 응축기 (aspheric condenser) 는 챔버에서 레이저 빔을 조절하는 데 사용되며 스캐너 (scanner) 통합은 정확하고 반복 가능한 측정 및 영상을 보장합니다. 조명 도구 (Lightumination Tool) 에는 균일하고 재현 가능한 반점 크기와 강도를 생성하도록 설계된 레이저 소스와 광학이 포함되어 있습니다. 레이저는 응용 프로그램에 따라 특정 파장으로 구성됩니다. 이 에셋은 넓은 선 너비 또는 마스크 기능 요구 사항 해상도를 허용합니다. 검출기는 회절 격자 (diffractive grating) 에서 산란된 빛을 감지하고 디스플레이에 디지털 이미지를 만들도록 설계된 실리콘 카메라와 이미징 펌웨어 (imaging firmware) 로 구성됩니다. 그런 다음 이 이미지는 분석을 위해 소프트웨어로 전송됩니다. 이 절차적 과정을 통해, Nano Spec 212는 모든 유형의 마스크 패턴과 특징을 분석하고, 비교할 수없는 이미징 및 정확한 측정을 제공 할 수 있습니다. NANOMETRICS Nano Spec 212에는 직관적인 UI 및 소프트웨어가 장착되어 있어 빠르고 쉬운 모델 제어가 가능합니다. 소프트웨어 및 데이터 분석 (Software and data analysis) 에는 데이터 효율적인 모니터링 및 처리를 위한 다양한 기능이 포함되어 있습니다. 이를 통해 고해상도 이미징, 정확한 측정, 마스크 및 웨이퍼 검사 등이 가능합니다. 전반적으로 Nano Spec 212는 레이저 및 경량 산란 기술을 사용하는 고급 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 사용자 친화적 인 소프트웨어와 결합 된 안정적인 Probe 챔버, 조명 시스템 및 검출기는 매우 정확한 이미징, 뛰어난 정확도 측정, 정확한 데이터 분석을 제공합니다. 이로 인해 NANOMETRICS NenSpec 212는 검사 산업을위한 완벽한 도구입니다.
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