판매용 중고 NANOMETRICS NanoSpec 2100 #9407283

NANOMETRICS Nano Spec 2100은 NANOMETRICS에서 생산 한 안정적이고 효율적인 자동 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 반도체 제작에서 결함 검사의 분석, 제어 및 보증을 위해 설계되었습니다. 이 제품은 생산 수익률, 처리량, 품질 보증 프로세스를 향상시킬 수 있는 최첨단 기능을 제공합니다. 이 장치는 모듈 식, 와이드 필드 검사 엔진, 고급 검출기 및 정교한 소프트웨어로 구성됩니다. 마스크 및 웨이퍼 검사는 기계의 맞춤형 고해상도 이미징 광학 장치 (optic) 와 선형 다이어캐닝 카메라 (diascanning camera) 를 통해 활성화됩니다. 자동 초점, 픽셀 매핑 및 필드 시프트 교정에 사용할 수 없는 카메라입니다. 또한, 이 도구는 90dB 이상의 동적 범위, 깊은 냉각 온도 안정성 및 가장 작은 결함조차도 감지 할 수있는 뛰어난 저조도 (low-light) 기능을 갖춘 매우 민감한 CCD 검출기를 갖추고 있습니다. Nano Spec 2100은 고급 소프트웨어 도구 제품군에 의존합니다. 이 제품군은 기본 결함 감지, 기본 검토 및 보고서 생성 기능을 통합합니다. 포괄적인 소프트웨어는 다른 검사/검토 도구, 지능형 결함 분류 (Intelligent Defect Classification) 및 머신 러닝 (Machine Learning) 기능을 통해 결함 분석, 빠르고 쉽게 연결할 수 있습니다. 또한, 이 자산은 원격 데이터 액세스를 위한 웹 기반 사용자 인터페이스 (user interface) 를 제공하며, 구성 프로세스를 제어합니다. 이 모델의 핵심은 다양한 마스크 (mask) 및 웨이퍼 (wafer) 전송 시스템이 있어 최대의 유연성과 프로세스 처리량을 제공합니다. NANOMETRICS Nano Spec 2100의 스캔 속도는 최대 500mm2/sec이며, 넓은 시야는 360 ° 입니다. 이를 통해 고전압 및 복잡성 회로 설계를위한 이상적인 마스크 및 웨이퍼 검사 장비가 됩니다. Nano Spec 2100은 고급 기능 외에도 여러 안전 기능도 갖추고 있습니다. "라마 '장치 는 검사 기계 와 검사 받은" 웨이퍼' 와 "마스크 '를 모두 보호 하도록 설계 된 장치 의 설계 와 통합 되어 있다. 라마 (Lama) 도구는 관측된 결함이 아무런 손상 없이 검사된 영역에서 멀어지도록 함으로써 안전성 (Safety) 의 추가 한계를 제공합니다. NANOMETRICS NenSpec 2100은 자동 마스크 및 웨이퍼 검사 부문을 위한 효율적인 도구입니다. 첨단 "센서 ', 광학 및" 소프트웨어' 도구 는 광범위 한 검사 및 안전 기능 과 결합 되어, 모든 반도체 생산 시설 을 위한 안정성 있는 다용도 기구 가 되었다.