판매용 중고 NANOMETRICS NanoSpec 2100 #9105591

NANOMETRICS NanoSpec 2100
ID: 9105591
Film thickness measurement system.
NANOMETRICS Nano Spec 2100은 품질 보증 및 반도체 장치 결함 분석을 위해 반도체 산업에 사용되는 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 시스템은 강력한 레이저, 광학 어레이 및 스캔 단계로 구성됩니다. 레이저는 0.1mrad 미만의 빔 발산이있는 연속 파동, 532nm 녹색 레이저 소스입니다. 광학 배열의 수치 조리개는 0.60이며 0.1äm 해상도를 허용합니다. 스캐너에는 최대 200mm 웨이퍼 또는 기판을 수용 할 수있는 X-Y 스테이지가 있습니다. 장치의 스캔 속도는 0.5äm에서 4m/s로 조정할 수 있습니다. 기계의 동적 범위는 0.2-2000äm이며, 치수가 0.2발로 작은 미세 전자 구조를 검사 할 수 있습니다. Nano Spec 2100 은 다양한 이미지 처리 기능을 제공하며, 이를 통해 결함 유형과 크기를 모두 감지할 수 있습니다. 이 도구는 또한 표면 오염, 긁힘, 입자 축적 등 다양한 결함 클래스를 식별하고 플래그를 지정할 수 있습니다. NANOMETRICS Nano Spec 2100에는 사용자에게 친숙한 인터페이스와 직관적인 컨트롤이 있습니다. 작업 편집 (Job Editing), 웨이퍼 매핑 라이브러리 (Wafer Mapping Library) 와 같은 고급 옵션을 통해 미리 정의된 검사 이미지를 보다 간편하게 생성하고 분석할 수 있습니다. 이 자산에는 또한 내장된 통계 분석 및 보고 (Reporting) 기능이 포함되어 있어 사용자가 운영 수익률의 추세를 파악할 수 있습니다. Nano Spec 2100 은 빠르고 다용도로, 사용자가 신속하게 문제를 해결하고 운영 프로세스를 최적화할 수 있게 해 줍니다. WA (On-Wafer) 및 Mask (마스크) 검사를 모두 수행할 수 있으므로 Fab 프로세스를 간소화하고 처리량을 향상시킬 수 있습니다. 이 모델은 업계 표준을 준수하며 강력한 안전 (Safety) 기능을 갖추고 있어 안정적이고 무중단 성능을 제공합니다. 전반적으로 NANOMETRICS Nano Spec 2100은 강력한 분석 기능을 갖춘 고급 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 반도체 제작 프로세스의 품질 보증 (Quality Assurance) 및 결함 분석에 이상적인 선택입니다. Nano Spec 2100 은 효율성이 높고 신뢰성이 뛰어나 비용 절감, 품질 향상을 지원합니다.
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