판매용 중고 NANOMETRICS NanoSpec 210 #293823936

ID: 293823936
Microscope Non functional parts: Imagesetter Power station.
NANOMETRICS Nano Spec은 NANOMETRICS, Inc.에서 개발 한 "마스크 및 웨이퍼 검사" 장비입니다. ASIC (Application-Specific Integrated Circuit) 의 구성 및 성능을 포괄적으로 파악할 수 있도록 설계되었습니다. 이 장치는 마스크 (마스크) 에 결함을 스캔하고, 품질 관련 문제를 식별하며, 집적 회로의 구조 및 전기 매개변수를 결정합니다. Nano Spec 은 고해상도 (high-resolution) 툴과 강력한 소프트웨어 제품군과 복잡한 집적 회로를 평가, 검증하는 일련의 고급 기술을 결합한 제품입니다. 이 시스템은 좁은 선, 작은 점, 매우 세밀한 디테일 등 작은 기능을 신속하게 감지하고 진단할 수 있으며, 사양이 아닌 장치 (out-of-specification device) 를 거부합니다. NANOMETRICS Nano Spec은 정확한 결함 감지, 낮은 고장 속도, 높은 처리량 및 광범위한 도량형 기능을 제공합니다. Nano Spec 장치는 광학 및 전기 마이크로 검사를 모두 갖춘 2 단계 검사 장치를 사용합니다. 첫째, 광학 마이크로 검사 기계는 전자 현미경과 같은 고 에너지 빔 (high-energy beam) 으로 샘플을 조명하여 미세 수준의 결함을 감지합니다. 그런 다음, 전기 마이크로 검사 도구 (electrical micro-inspection tool) 는 샘플에 전기 신호를 적용하여 저항이나 커패시턴스와 같은 거시 수준의 전기 매개변수를 측정합니다. 이 두 검사 단계의 조합을 사용하여 NANOMETRICS Nano Spec은 1 미크론만큼 작은 구조의 결함을 감지하고 금속, 비아 (vias) 및 노드 해상도를 0.1 미크론까지 정확하게 측정 할 수 있습니다. 또한, 에셋은 조명, 초점, 검출기를 독립적으로 제어하여 CD SEM (CD SEM) 과 같은 다른 장비와의 통합을 허용합니다. Nano Spec은 (는) 결함 검사, 장치 특성 및 높은 처리량에 필요한 모든 구성 요소를 통합한 턴키 모델로 설계되었습니다. 설계-구조 (design-rescue), 생산량 개선 및 장애 분석 등의 포괄적인 툴을 고객 어플리케이션에 맞게 맞춤형으로 구성할 수 있습니다. 또한 프로세스 통합 (process integration) 및 유지 보수 (maintenance) 와 같은 잘 정의된 프로세스 알고리즘을 사용하면 더 쉬운 작업과 안정적인 결과를 얻을 수 있습니다. 무엇보다도, NANOMETRICS Nano Spec은 다목적 검사 장비로, 집적 회로의 결함을 빠르고 정확하게 감지하고 전기 매개변수를 결정할 수 있습니다. 이 제품은 ASIC 제조에 매우 유용한 툴로서, 반드시 비용을 절감하고 디바이스 성능을 향상시키는 데 도움이 될 것입니다.
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