판매용 중고 NANOMETRICS NanoSpec 210 #150266
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NANOMETRICS Nano Spec 210은 반도체 제조 공정에 사용되는 마스크 및 웨이퍼의 결함을 감지하도록 설계된 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 높은 화질, 정확성, 잘못된 경보 최소화, 효율성 극대화를 보장합니다. NANOMETRICS NANO SPEC 210은 두 가지 하위 시스템을 기반으로합니다. 첫 번째는 가벼운 현미경 모듈이며 고해상도, 풀 컬러 22 메가 픽셀 CMOS 센서 및 광학 요소를 제공합니다. 여러 레이어 기능을 제공하여, 레이어 유형을 빠르고 쉽게 전환할 수 있습니다. 내장 자동 초점 장치 (Autofocus Unit) 는 자동으로 샘플 서피스에 초점이 맞춰져 있으며, 통합 자동 조정기는 정확한 샘플 정렬을 보장합니다. 고급 옵틱 모듈을 사용하면 하향식 이미징과 하향식 이미징을 모두 사용할 수 있으며 수동 작업 시 수동 초점 기능 (옵션) 을 사용할 수 있습니다. 두 번째는 웨이퍼 검사 머신 (Wafer Inspection Machine) 이며, 최신 고급 이미지 처리 알고리즘으로 높은 정확도와 처리량을 제공합니다. 이 도구는 고급형 솔리드 스테이트 LED (Solid State LED) 조명원을 사용하여 광원 (Light Condition) 과 고출력 광학 (Optic) 을 사용하여 선명하고 정확한 이미지를 보장합니다. 최대 4.2MHz의 빠른 스캔 속도로, Nano Spec 210은 결함을 빠르고 정확하게 식별하고 분류 할 수 있습니다. NANO SPEC 210은 또한 내장된 결함 분류 자산을 갖추고 있으며, 디지털 이미지 처리 알고리즘을 사용하여 0.3 µm 크기의 결함을 신속하게 검사합니다. 또한, 식별된 결함을 플래깅 및 레이블링할 수 있도록 디지털 마킹 모델이 통합되어 있어 워크플로우 (workflow) 및 추적 가능성 (traceability) 이 향상되었습니다. 이 장비에는 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 와 소프트웨어 패키지 (software package) 가 포함되어 있어 웨이퍼와 마스크를 신속하게 구성, 분석, 문제를 해결할 수 있습니다. 사전 정의된 매개변수를 통해 자동 이미징이 활성화되고, 웨이퍼 배치가 검사되면 보고서가 자동으로 생성됩니다. 전반적으로 NANOMETRICS Nano Spec 210은 고급적이고 정확한 마스크 및 웨이퍼 검사 시스템으로, 빠른 속도와 정확성, 직관적인 사용자 인터페이스, 자동화된 결함 분류 장치를 제공합니다. 즉, 신뢰할 수 있고 비용 효율적인 솔루션을 통해 운영 시간을 단축하고 고품질 (High Quality) 제품을 보장합니다.
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