판매용 중고 NANOMETRICS NanoSpec 210 #142743
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나노 메트릭 (NANOMETRICS) Nano Spec 210은 다양한 이미징 기술 및 검사 양식을 통해 마스크와 웨이퍼에 대한 자동화되고 비파괴적인 검토를 위해 설계된 마스크 및 웨이퍼 검사 시스템입니다. NANOMETRICS NANO SPEC 210은 입자 검사, 결함 검사, 레이어 간 통합 검토 등 마스크 및 웨이퍼 검사를 위한 포괄적이고 반복 가능한 솔루션을 제공합니다. Nano Spec 210의 성능은 고품질 optics, 동적 이미지 수정, 유연한 이미징 모드 및 양식을 기반으로 합니다. 모든 표면 결함 과 입자 들 은 어두운 장 에서 조명 되며, 저항면 의 참다운 초점 (confocal) 전망 을 이용 하여 소음 을 줄이고, 해상도 를 향상 시킨다. 이미지 처리는 동적 조정 가능 창 (Dynamic Adjustable Window), 특수 필터 (Specialized Filter), 다중 대비 및 모서리 개선 방법을 결합하여 선명하고 선명한 이미지를 생성합니다. 이 시스템에는 여러 가지 비파괴 검사 (non-destructive inspection) 모듈이 있으며, 다양한 마스크 및 웨이퍼 레이어에서 패턴 및 결함을 이미지와 검토할 수 있습니다. 자동 등록 (automated registration) 알고리즘은 입자를 감지하고 정확하게 측정하는 반면, 패턴 후 결함 검증을 통해 브리징, 스크래치와 같은 원치 않는 결함이 정확하고 자동으로 감지됩니다. NANO SPEC 210에는 자동 결함 분류 기능도 있습니다. 단락, 열기, 브레이크, 접촉 구멍, 변환 등의 결함 유형은 검증용으로 식별되고 주석이 지정됩니다. 사용자 정의 규칙을 사용하여 false open, bridging 및 notch 결함을 식별할 수도 있으며, 모든 결함이 올바르게 특성화되고 정확하게 추적, 기록, 수정됩니다. NANOMETRICS Nano Spec 210은 또한 CD-SEM, 라인 너비 측정 및 중요한 치수 변형과 같은 일련의 도량형 솔루션을 제공합니다. 양적 CD 분석은 교차 웨이퍼 이상과 CD 드리프트 및 CD 균일성 식별을 지원하며, 레이아웃 및 프로세스 수익률을 향상시킵니다. NANOMETRICS NANO SPEC 210의 컴팩트하고 직관적인 설계로 효율적인 설정 및 작동이 가능합니다. 사용자 친화적 인 소프트웨어 인터페이스는 다양한 자습서 가이드, 사전 구성된 워크플로우 (workflow) 및 배치 처리 (batch processing) 기능으로 보완되는 빠르고 간단한 탐색 기능을 제공합니다. 포괄적인 현장 설치/교육 서비스도 제공되며, 고객에게 완벽한 시스템 지원 및 지원을 제공합니다.
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