판매용 중고 NANOMETRICS NanoSpec 210 #114973
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ID: 114973
웨이퍼 크기: 6"
Film thickness measurement system, up to 6"
Measures 100 to 500,000 Angstroms
Laptop upgrade.
NANOMETRICS Nano Spec 210은 사진 마스크 및 웨이퍼의 표면 지형을 모니터링하도록 설계된 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. NANOMETRICS NANO SPEC 210은 스캐닝 터널링 현미경의 최신 기술을 사용하여 결함 감지 및 특성화를위한 표면의 정확한 3 차원 영상을 제공합니다. 광학 시스템은 마스크 및 웨이퍼 표면의 고해상도 이미지를 생성하도록 설계되었습니다. Nano Spec 210은 포지셔닝 및 스캔을위한 4 개의 쿼츠 스테이지가있는 샘플 챔버로 구성됩니다. 처음 2 단계는 샘플을 챔버에 로드하고 스캔 프로브 (scan probe) 를 배치하는 데 사용됩니다. 다음 두 단계는 Probe를 사용하여 샘플을 스캔하는 데 사용됩니다. 샘플 챔버에는 3 개의 광학 창이 있으며, 하나는 샘플에, 다른 하나는 이미지 캡처에 사용됩니다. NANO SPEC 210에는 마스크 및 웨이퍼 표면의 고해상도 이미지를 캡처하기 위해 고해상도 스캐닝 현미경 (STM) 장치가 장착되어 있습니다. 기계는 매우 작은 팁이있는 프로브 (Probe) 를 사용하여 샘플의 표면을 가로 질러 이동하고 고해상도 이미지를 생성합니다. NANOMETRICS Nano Spec 210에는 사용자가 STM 스캐너의 속도, 방향, 전원을 제어 할 수있는 온보드 제어 도구가 있습니다. NANOMETRICS NANO SPEC 210에는 마스크 및 웨이퍼 표면의 결함 탐지를 개선하는 기능이 내장되어 있습니다. 결함을 자동으로 감지하기위한 패턴 인식 알고리즘이 있습니다. 자산에는 다양한 이미지 처리 (image processing) 및 필터링 (filtering) 기능이 있어 사용자가 이미지를 분석하고 결함을 감지할 수 있습니다. Nano Spec 210은 마스크 및 웨이퍼 검사를위한 효과적인 도구입니다. 이러한 기능을 통해 사용자는 마스크 (Mask) 와 웨이퍼 (Wafer) 의 표면 지형을 빠르고 쉽게 모니터링할 수 있습니다. 자동 감지 알고리즘 (automated detection algorithms) 및 이미지 처리 (image processing) 기능은 결함 감지 및 특성화의 신뢰성과 정확성을 향상시키기 위해 설계되었습니다. NANO SPEC 210은 마스크 및 웨이퍼 표면을 모니터링 및 분석하는 데 효과적인 도구입니다.
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