판매용 중고 NANOMETRICS NANOSPEC 200 #9407282

NANOMETRICS NANOSPEC 200은 생산 테스트 및 연구 응용 프로그램을 위해 설계된 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 고해상도 이미징 (High-Resolution Imaging) 기능과 업계에서 가장 까다로운 검사 작업의 요구 사항을 충족하는 성능 특성을 결합합니다. NANOSPEC 200은 마스크 투 웨이퍼 검사 기능, 프로그래밍 가능한 스캔 단계, 웨이퍼 정렬을위한 독점 소프트웨어, 고급 신호 처리 기술 및 고해상도 이미징 시스템을 제공합니다. 이 장치의 높은 이미지 충실도 및 신호 대 잡음비 (signal-to-noise ratio) 는 정확한 미크론 수준의 측정이 필요한 검사에 이상적입니다. NANOMETRICS NANOSPEC 200에는 고해상도 스테이지 및 스캔 소프트웨어와 함께 고급 이미징 머신과 옵틱이 포함되어 있습니다. 이 도구의 이미징 해상도는 5 나노 미터, 동적 범위는 5 도이며, 1 피코 미터에 민감합니다. 영상 자산은 5 나노미터 (5 나노미터) 정도의 결함과 모양을 감지 할 수있는 반면, 신호 처리 기술은 광학 매개 변수를 1 피코미터 (1 picometer) 까지 고급 측정할 수 있습니다. 이 모델에는 조정 가능한 파장 (wavength) 및 편광 필터 (polarization filter) 가 포함되어 있어 특정 응용 프로그램에 가장 적합한 매개변수를 선택할 수 있습니다. 프로그래밍 가능한 스캐닝 (scanning) 단계는 다양한 이동과 높은 수준의 정확성 및 반복성을 제공합니다. 이렇게 하면 작은 "칩 '에서 큰" 웨이퍼' 에 이르기 까지 여러 가지 표본 의 크기 와 종류 를 볼 수 있다. 또한, NANOSPEC 200은 프로그래밍 가능한 하위 해상도 모드 (sub-resolution mode) 를 특징으로하며, 표준 이미징 모드에서 보이지 않는 경우에도 더 정확한 작은 오브젝트 측정이 가능합니다. 이 소프트웨어에는 종합적인 결함 분석 루틴 라이브러리 (library of defect analysis routine) 와 빠르고 효율적인 검사를 보장하는 직관적인 인터페이스가 포함되어 있습니다. 또한 NANOMETRICS NANOSPEC 200에는 웨이퍼 처킹을위한 내장 리튬 니오 베이트 (LiNbO3) 와 온도 조절 및 도펀트 치료를위한 베이크 인, 베이크 아웃 (BIBO) 플랫폼이 포함되어 있습니다. 이 장비에는 다중파장 검사를 위한 전동식 (Motorized) 포탑이 장착되어 있어 여러 매개변수를 동시에 측정하고 검사 효율을 최적화할 수 있습니다. 전반적으로, NANOSPEC 200은 연구 및 생산 환경의 요구를 충족시키기 위해 설계된 강력한 기능의 조합을 제공합니다. 이 시스템은 고해상도 이미징 (imaging) 및 성능 특성을 제공하여 마스크 및 웨이퍼 검사 작업에 이상적입니다.