판매용 중고 NANOMETRICS M6100A #9165235

NANOMETRICS M6100A
ID: 9165235
Thickness measurement system.
NANOMETRICS M6100A는 반도체 제조에 사용하도록 설계된 고성능 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 회로 (Circuit) 및 컴포넌트의 잠재적 결함 (Potential Defect) 을 감지하여 최종 제품의 성능에 영향을 줄 수 있습니다. M6100A는 여러 가지 고급 기능을 제공하여 성능과 정확도를 향상시킵니다. 광각 CCD 카메라, lnP (Laser-Reflected Pattern Recognition Processor) 및 오프 축 조명광학으로 구성된 자동 광학 검사 시스템은 photolithographic 패턴의 뛰어난 이미징을 제공합니다. 이 장치는 최대 50 나노 미터의 해상도로 웨이퍼를 검사 할 수 있습니다. 다중 영역 고에너지 레이저 (Multi-Zone High-Energy Laser) 는 광석기 패턴 내에서 매우 작은 사전 정의 영역을 노출시킬 수도 있습니다. 초고해상도 이미징 머신 (Ultra-High Resolution Imaging Machine) 을 사용하면 결함과 광석기 패턴의 정확성을 쉽게 확인할 수 있습니다. 나노 메트릭 (NANOMETRICS) M6100A에는 검사 및 웨이퍼 처리 중 웨이퍼를 정확하게 정렬 할 수있는 고정밀 스테이지가 장착되어 있습니다. 이 도구는 최대 200mm 직경의 웨이퍼를 수용 할 수 있으며 모든 선행 웨이퍼 처리 프레임과 호환됩니다. M6100A는 성능을 향상시키기 위해 여러 가지 다른 기능을 제공합니다. 통합 저진동 워크스테이션 (Low-Vibration Workstation) 을 사용하면 외부 진동으로 인한 장애를 최소화하면서 작은 구조를 분석할 수 있습니다. 질소 플라즈마 스크러빙 장치 (scrubbing device) 를 사용하여 검사 전에 웨이퍼 표면을 빠르게 청소할 수 있습니다. 디지털 데이터 획득 (digital data acquisition) 자산 통합을 통해 측정 결과를 시각화하고 저장할 수 있습니다. 전반적으로 NANOMETRICS M6100A는 반도체 제조에 사용하도록 설계된 강력한 고성능 마스크 및 웨이퍼 검사 모델입니다. 탁월한 이미징 기능, 고해상도 검사, 정확한 웨이퍼 처리 기능을 제공합니다. 강력한 디자인과 기능을 갖춘 M6100A는 대용량 전자 부품의 품질 향상을 위한 이상적인 솔루션입니다.
아직 리뷰가 없습니다