판매용 중고 NANOMETRICS CTS-102 #9397735

NANOMETRICS CTS-102
ID: 9397735
Film thickness measurement system.
NANOMETRICS CTS-102 (NANOMETRICS CTS-102) 는 수동 및 자동 성능으로 웨이퍼 품질을 측정하고 특성화하도록 설계된 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 시스템은 검사 단계, PC 기반 호스트 PC 및 컨트롤러로 구성됩니다. 검사 단계는 고정밀 미세 초점 광학 헤드, 선반가공 제어 자동 초점 및 8 "LCD 모니터로 구성됩니다. 이 구성 요소 외에도 공기 필터 (air filter) 와 청정 공기 관련 작업을위한 압력 조절기 (pressure regulator), 챔버 온도 제어기 (chamber), 온도 조정기 (temperature calibrator) 및 백업 충전기 (backup charger) 가 장착되어 있습니다. 호스트 PC (Host PC) 는 CTS-102 의 핵심으로, 시스템에서 측정 작업을 완료하기 위해 필요한 하드웨어 및 소프트웨어 구성 요소를 제공합니다. Windows 7 또는 8 에서 실행되며, 디지털 판독 장치 (digital readout unit) 와 광학 헤드용 외부 컨트롤러 (external controller) 와 같은 여러 외부 장치에 연결됩니다. 모든 구성 요소는 호스트 PC의 GUI를 통해 쉽게 작동할 수 있습니다. 컨트롤러는 공구의 성능을 향상시키기 위해 만들어졌습니다. 실시간 모니터와 제어 인터페이스 (Control Interface) 가 함께 제공되며, 이 기능을 통해 운영자는 버튼을 누르고 전체 자산을 제어할 수 있습니다. 또한 프로세스 매개 변수 (예: 온도, 압력, 광학 헤드 스캔 등) 에 대한 피드백을 제공합니다. 이 모델을 사용하면 레이어의 두께, 균일성 (unifority), 서피스 결함 (surface defects), 오염 수준 (contamination level) 등 다양한 매개변수를 측정할 수 있습니다. 이 장비는 이미지 캡처 (image capturing) 기능도 제공하며, 검사 과정에서 촬영한 이미지를 기반으로 보고서를 생성할 수 있습니다. 프로세스 중에 생성된 이미지는 JPEG (JPEG) 형식으로 저장되며, 이를 통해 사용자는 JPEG 를 다른 이해 관계자와 쉽게 공유할 수 있습니다. 나노 메트릭 (NANOMETRICS) CTS-102 (CTS-102) 는 마스크 및 웨이퍼 검사에 중요한 도구이며, 측정 작업에 대한 높은 정밀도와 정확도를 제공합니다. 또한 사용자 친화적 (user friendly) 으로, 수작업 (manual input) 을 최소화하면서 데이터를 신속하게 분석하는 데 필요한 모든 기능을 제공할 수 있습니다.
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