판매용 중고 NANOMETRICS Caliper Mosaic #9411495

ID: 9411495
빈티지: 2010
Overlay control system 2010 vintage.
나노 메트릭 (NANOMETRICS) 캘리퍼 모자이크 (Caliper Mosaic) 는 정교한 마스크 및 웨이퍼 검사 장비로 깊이 필드 이미징 및 고해상도 측정을 제공합니다. 이 시스템은 중요한 오버레이 및 3D 통계적 프로세스 제어 응용 프로그램에 대한 탁월한 정확성을 제공합니다. 이 장치는 프로세스 최적화, 높은 데이터 정확성, 반복성 (repeatability) 을 위한 최고의 솔루션을 제공하며, 중요한 마스크와 웨이퍼에 대한 상세한 분석, 특성을 제공합니다. Caliper Mosaic 기계의 광학 패키지는 고급 Telecentric 렌즈, 고급 Telecentric 조명 소스, 정밀 프레임 그래버 및 고급 이미지 프로세싱으로 구성되어 있으며, 이를 통해 고성능 이미징 솔루션을 제공합니다. 원격지 렌즈는 넓은 시야에서 높은 균일 한 조명을 보장하므로 3D 볼륨 검사를 허용합니다. 이를 통해 웨이퍼, 오버레이 등록 및 정확한 모따기 탐지가 정확하게 등록됩니다. 공구에는 1 나노미터 (nanometer) 의 낮은 해상도로 임계 치수 및 선 너비의 정확한 측정을 제공하는 기능이 있습니다. 에셋은 또한 자동화된 머신 비전 (machine vision) 기술을 가지고 있으며, 이를 통해 웨이퍼 또는 마스크의 3D 표면을 분석하고 표면 특성에 대한 정확한 메트릭을 제공합니다. 이 모델은 입자, 균열, 도펀트 확산 (dopant diffusion) 및 웨이퍼 표면에 걸친 기타 이상과 같은 미세 결함을 극도로 정확하게 감지 할 수 있습니다. 이 장비에는 이미지의 스펙트럼, 위상 및 대비를 정확하게 측정하는 고급 푸리에 변환 (Fourier transform) 및 이산 코신 변환 (Discrete Cosine Transform) 알고리즘이 있습니다. 시스템에 수동 및 자동 작동 모드가 있으며 사용 편이성을 제공합니다. 수동 (Manual) 모드에서는 동일한 환경에서 이미지를 캡처, 편집, 분석할 수 있는 기능을 통해 이미징 프로세스를 완벽하게 제어할 수 있습니다. 자동 모드 (automatic mode) 는 소프트웨어에 대한 정렬 및 피쳐 식별과 같은 대부분의 단계를 관리합니다. 나노 메트릭 (NANOMETRICS) 캘리퍼 모자이크 (Caliper Mosaic) 장치에는 웨이퍼 및 마스크의 균일 성 및 표면 특성에 대한 자세한 정보를 제공하는 다양한 고급 데이터 분석 도구가 있습니다. 전체적으로 캘리퍼 모자이크 (Caliper Mosaic) 기계는 전례없는 정확성과 성능 기능을 제공하는 고급 마스크 및 웨이퍼 검사 도구입니다. 고해상도 측정 기능, 3D 이미징 기능, 자동화된 머신 비전 (Machine Vision) 기술로, 이 자산은 중요한 오버레이 및 통계적 프로세스 제어 어플리케이션을 위한 최고의 솔루션을 제공합니다.
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