판매용 중고 NANOMETRICS Caliper Mosaic #9390470

NANOMETRICS Caliper Mosaic는 나노 미터 수준에서 마스크와 웨이퍼를 분석하도록 설계된 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 특히 고밀도 (High-Density) 패턴과 특징을 검사하는 데 유용하며, 일반적으로 기존의 광학 검사 시스템에 비해 너무 작습니다. 능률적인 광 설계는 첨단 데이터 획득 기술과 함께 고정밀 이미징 광학 (high-precision imaging optics) 을 활용하여 종합적이고 자동화된 웨이퍼 검사 시스템을 만듭니다. 캘리퍼 모자이크 (Caliper Mosaic) 장치는 웨이퍼 패턴을 10 nm의 해상도까지 안정적이고 정확한 정량적 분석을 제공합니다. 이 기계는 이미징 옵틱, CCD 카메라 및 고성능 컴퓨팅 플랫폼으로 구성됩니다. 고급 이미징 광학 장치 (Advanced Imaging Optics) 는 작은 형상의 이미지 선명도를 향상시키는 동시에 이미지 (Imaging) 결과에 산란된 광원의 효과를 최소화하기 위해 특별히 설계되었습니다. 이 도구는 크롬 마스크, UV 마스크, 레티클, 불투명 웨이퍼 등 다양한 기판을 검사 할 수 있습니다. 이 자산에는 여러 가지 고급 기술이 있습니다. 예를 들어, 왜곡을 최소화하는 고속 이미지 획득 모델 (High-Speed Image Acquisition Model) 과 여러 파장에서 작동하는 최첨단 레이저 매핑 기술 (최첨단 레이저 매핑 기술) 이 있습니다. 패턴 인식 (pattern recognition) 및 흐림 효과 분석 (blur analysis) 과 같은 고급 데이터 분석 기술은 검사 프로세스의 품질을 더욱 향상시킵니다. 이 장비는 2 개의 이미지를 비교하는 데 사용되어 사소한 패턴 불일치를 감지 할 수 있습니다. 사용자 친화적 시스템 인터페이스는 다양한 시각화 (visualization) 옵션을 통해 웨이퍼 검사 프로세스를 직관적으로 제어할 수 있습니다. 그래픽 디스플레이 (Graphical Display) 는 검사 결과를 보여 주며, 동일한 소프트웨어를 사용하여 패턴을 검토하고, 감지된 결함을 분석하고, 세부 보고서를 생성할 수 있습니다. NANOMETRICS Caliper Mosaic 장치는 focus, dicing line 및 pattern detection의 임계값과 같은 다양한 매개 변수를 자동으로 최적화할 수 있습니다. Caliper Mosaic는 웨이퍼 및 마스크 검사를위한 포괄적 인 솔루션을 제공하도록 설계되었습니다. 고해상도 이미징, 상세한 결함 감지 기능을 갖춘 이 검사기는 정확성, 반복성, 처리량을 보장합니다.