판매용 중고 NANOMETRICS Caliper Mosaic #9384480

NANOMETRICS Caliper Mosaic는 NANOMETRICS에서 개발한 유연하고, 통합적이며, 강력한 마스크 및 웨이퍼 검사 장비로, 반도체 산업의 고급 프로세스 제어 및 수율 향상을 지원합니다. 이 시스템은 자동화된 광 검사 (Optical Inspection) 및 이미지 처리 (Imageprocessing) 기능과 이미지 관리 (Image Management) 및 결함 분석을 지원하는 소프트웨어 도구 모음을 최적화합니다. 이를 통해 장치가 결함을 안정적으로 감지하고 분류 할 수 있습니다. 기계에서 사용하는 이미지 센서는 위상 위치 (phase position) 와 전송 이미지 (transmission image) 모두에서 빠르고 낮은 소음 판독값을 제공합니다. "웨이퍼 '의 이진 이미지는 고객이 정의한 마스크 및 제품 이미지와 비교되며, 크기 3 나노미터 정도의 작은 기능을 감지 할 수 있습니다. 검사 도구는 뛰어난 심도 및 고해상도 이미징 기능이있는 DCSM (Dual-beam Confocal Scanning Microscope) 을 갖추고 있으며, 이를 통해 결함의 정확한 정밀도 및 특성화가 가능합니다. 검사 자산은 X-Y 평면에서 250 나노 미터의 정확도로 고속 스캔을 가능하게하는 4 축 스캔 단계를 사용합니다. 모델의 이미지 처리 소프트웨어에는 매우 희미한 기능 (예: 스크래치, 입자, 웨이퍼 표면의 결함) 을 감지할 수 있는 알고리즘, 다양한 유형의 결함을 구별하기 위한 기능/결함 분류 알고리즘 등이 포함됩니다. 또한, 이 장비는 강력한 사용자 친화적 그래픽 사용자 인터페이스 (GUI) 를 제공하여 검사 작업의 설계, 설정, 실행을 단순화하고, 결함 이미지의 자동 상세 분석 및 특성화를 가능하게 하며, 사용자가 신속하게 항복/처리 문제를 진단하고 해결할 수 있도록 합니다. 궁극적으로, Caliper Mosaic 은 고해상도 이미징, 자동화된 이미지 처리, 직관적인 소프트웨어 조합을 통해 고객의 품질 관리 및 항복 요구 사항을 충족하는 데 도움이 됩니다.