판매용 중고 NANOMETRICS Caliper Mosaic #9383362

ID: 9383362
빈티지: 2011
Overlay control system 2011 vintage.
NANOMETRICS Caliper Mosaic은 마스크 및 웨이퍼 검사를위한 강력하고 다양한 도구입니다. 특허를 획득한 알고리즘을 활용해 마스크 (Mask) 와 웨이퍼 (Wafer) 기판 모두에서 결함을 효율적이고 정확하게 검사합니다. Caliper Mosaic은 고급 QuadriChromatic 이미징을 특징으로하며, 4 개의 스펙트럼 밴드를 사용하여 마스크 또는 웨이퍼 토폴로지를 디지털로 나타냅니다. 이 시스템은 최대 8 개의 서브 미크론 (sub-micron) 피쳐 해상도를 캡처하여 미세한 복잡한 기능을 검사하는 데 적합합니다. 8인치 고해상도 2K x 2K FPA 센서는 선택 가능한 고해상도 이미지 캡처를 제공합니다. 고속 카메라의 실시간 비디오 캡처는 검사 과정에서 최고 수준의 정확성을 보장합니다. NANOMETRICS Caliper Mosaic은 정확하고 다양한 감지 기능을 제공합니다. 고급 MOI (MultiObject Inspection) 기능은 사용자에게 자동으로 이미지에 있는 결함의 위치와 크기를 정확하게 알립니다. 입자, 구덩이, 핀홀, 공백, 반바지, 돌출부 등 다양한 결함을 감지 할 수 있습니다. 또한 향상된 평가 및 분석을 위한 자동화된 양면 (double-side) 광 플랫 밴드 (flatband) 보상과 나중에 검토할 수 있는 이미징 데이터 저장 기능도 제공합니다. 시스템에는 또한 각 레이블에 대한 하드웨어 설정을 최적화하는 자동 오프라인 조정 가능 마스크 검사 (off-line tunable mask inspection) 기능이 있습니다. 캘리퍼 모자이크 (Caliper Mosaic) 는 원격 작동 및 충격이 적은 유지 관리 기능을 제공하여 민감한 마스크 및 웨이퍼 기판을 검사하는 데 이상적입니다. 또한 광범위한 소프트웨어와 호환되며, 기존 운영 파이프라인에 쉽게 통합할 수 있습니다. 고급 이미징 기술, 정확한 결함 감지 기능, 사용자 구성 가능한 하드웨어 설정을 통해 NANOMETRICS Caliper Mosaic는 마스크 및 웨이퍼 기판을 검사하는 데 귀중한 도구입니다.
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