판매용 중고 NANOMETRICS Caliper Mosaic #9383361
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나노 메트릭 (NANOMETRICS) 캘리퍼 모자이크 (Caliper Mosaic) 는 다양한 기판의 미세 구조 기능을 측정하고 분석하기 위해 설계된 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 고급 장비는 광학 도량형 (optical metrology) 을 적용하여 나노미터 척도까지의 기능을 정확하게 측정하고 검사합니다. 이 고정밀도 기능을 통해 사용자는 빠르고, 정확하고, 신뢰할 수 있는 측정값을 얻을 수 있습니다. 시스템은 기판을 흰색 광원으로 스캔하여 픽셀 크기 (최대 200nm) 로 미세 선 피쳐 프로파일 (profile of fine line features) 을 측정합니다. 레이저의 72 개의 개별 위치 배열은 각각 3 개의 파장 값을 갖는 조명을 제공합니다. 이를 통해 장치가 단일 스캔 중에 최대 2500 포인트 (point) 까지 피쳐 프로파일을 측정할 수 있습니다. 기계에서 적용되는 광학 도량형 기술에는 3D 이미징도 포함됩니다. 선 피쳐 검사 (line feature inspection) 외에도 동일한 기판에서 개별 구조 간의 필름 두께, 높이, 간격 너비를 측정할 수도 있습니다. 모든 측정값은 디지털 방식으로 저장되므로 정확도가 높아집니다. Caliper Mosaic에는 강력한 이미지 분석 소프트웨어 패키지도 포함되어 있습니다. 이 소프트웨어는 여러 개의 스캔 (scan) 을 결합하고, 3D 모델을 만들고, 개별 스캔을 하나로 묶어 단일 데이터 세트를 구성할 수 있습니다. 이 소프트웨어는 정확성과 실시간 이미징 외에도 포괄적인 데이터 분석 툴을 제공합니다. '데이터 분석 툴 (data analysis tools)' 을 통해 디바이스 성능을 더욱 효과적으로 파악하거나 결함 격리를 수행할 수 있습니다. NANOMETRICS Caliper Mosaic는 웨이퍼 및 마스크 검사를위한 강력하고 신뢰할 수있는 도구입니다. 나노미터 (nanometer) 척도로 피쳐를 정확하게 측정, 분석, 정량화할 수 있으며, 따라서 사용자는 시간의 일부분에서 더 빠르고, 더 정확한 결정을 내릴 수 있습니다. 이 도구는 종합적인 이미징 및 분석 기능을 통해 복잡한 나노 구조 (nanosstructured) 장치를 위한 맞춤형 솔루션을 제공합니다.
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