판매용 중고 NANOMETRICS Caliper Mosaic #9383351
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NANOMETRICS Caliper Mosaic는 반도체 마스크 설계 및 웨이퍼 제작 프로세스의 이상을 감지하도록 설계된 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 신속하고, 고해상도 결함 감지, 결함 분석 및 자동 결함 검토 (automated defect review) 를 위한 정확한 측정 기능을 제공합니다. 이 시스템에는 최대 25cm (10 인치) 크기의 웨이퍼 이미지를 찍을 수있는 16 비트 디지털 이미징 장치가 있습니다. 심층 분석을 위해 와이드 필드 (로컬) 및 롱 필드 (글로벌) 마스크 뷰를 모두 캡처하고 저장할 수 있습니다. 고해상도 기능으로 캘리퍼 모자이크 (Caliper Mosaic) 는 게이트 산화물 섬광, 가장자리 결함, 임계 치수 변화와 같은 이상을 매우 정확하게 감지 할 수 있습니다. 이 기계는 현대적이고 직관적인 소프트웨어 (software) 로 구동되며, 이를 통해 사용자는 빠르고 쉽게 웨이퍼를 검토할 수 있습니다. 또한 계층적 결함 분류 (hierarchical defect classification), 여러 이미지의 빠른 정렬 (quick alignation), 빠른 평가를 위한 이미지 라이브러리 저장 기능 등 자동화된 검사 기능을 포함합니다. 게다가, 이 도구는 미리 로드된 결함 분류 체계 (defect classification scheme) 의 배열을 제공하여 마스크 또는 웨이퍼 설계 내에서 잠재적인 문제를 빠르고 쉽게 식별할 수 있습니다. 이 자산은 웨이퍼 레벨 (wafer level) 및 리소그래피 (lithography) 응용 프로그램 모두에서 사용하기에 적합하며, 사용자의 특정 요구에 맞게 다양한 사용자 정의 옵션이 제공됩니다. 고급 결함 검토 (Advanced Defect Review) 및 자동 2D/3D 프로파일 매핑을 위한 도구를 포함하여 다양한 강력한 처리 기능이 지원됩니다. 이를 통해 사용자는 설계 내에서 복잡하고 미묘한 결함을 파악할 수 있을 뿐 아니라, 생산 프로세스 (Production Process) 에 대한 귀중한 통찰력을 얻을 수 있습니다. 나노 메트릭 (NANOMETRICS) 캘리퍼 모자이크 (Caliper Mosaic) 는 마스크 및 웨이퍼 검사의 업계 표준을 설정하여 사용자가 결함을 파악하고 생산 프로세스의 효율성을 향상시키기 위해 안정적이고 사용하기 쉬운 플랫폼을 제공합니다.
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