판매용 중고 NANOMETRICS Caliper Mosaic #9383062

NANOMETRICS Caliper Mosaic
ID: 9383062
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2011
Overlay control system, 12" 2011 vintage.
나노 메트릭 (NANOMETRICS) 캘리퍼 모자이크 (Caliper Mosaic) 는 집적 회로 마스크 및 웨이퍼를 고해상도 이미징 및 정량적으로 측정하도록 설계된 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 독점 알고리즘을 사용하여 결함을 분석하고 결함 유형 (defect type), 크기 (size), 위치 (location) 와 같은 수많은 매개변수를 고려합니다. 해상도가 5nm인 이 장치는 가장 작은 기능 (예: 접점, 선 폭) 을 식별할 수 있습니다. 또한, 기계는 개방, 불연속, 단락, 오정 및 기타 유형의 결함을 식별 할 수 있습니다. 이 도구는 모듈식 (modular) 설계를 통해 다양한 기판 크기와 구성을 수용할 수 있습니다. 다단계 패턴 인식 및 결함 감지 알고리즘이 적용되어 정확하고 안정적인 결과를 얻을 수 있습니다. 에셋에는 두 가지 구성 요소 (로우 노이즈 이미징 모델과 패턴 인식 엔진) 가 있습니다. 이미징 서브시스템 (Imaging Subsystem) 은 고급 광학 장비를 사용하여 최대 50nm 크기의 구조물을 높은 해상도로 제공합니다. 서브시스템의 디지털 신호 프로세서는 정확한 이미지 분석 및 결함 인식 기능을 제공합니다. 패턴 인식 엔진은 최첨단 기술을 기반으로 하여 유연하고 정확한 패턴 매칭을 지원합니다. 시스템은 사용자가 만든 패턴 (pattern) 뿐만 아니라 자동으로 생성된 패턴 (pattern) 도 인식할 수 있습니다. 이 패턴은 검사하에서 장치에서 찾을 수 있습니다. 이 장치는 또한 최대 2 개의 스캐너를 사용하여 단일 다이에서 여러 결함을 감지 할 수 있습니다. Caliper Mosaic는 많은 정교한 기능을 제공합니다. 여기에는 고속 스캔 기능, 확대/축소 이미징 및 측정, 측정 확인 보고 및 분석이 포함됩니다. 이 기계는 또한 프로덕션 라인에 쉽게 통합할 수 있도록 설계되었으며, 네트워크 연결을 통해 제어할 수 있습니다. NANOMETRICS Caliper Mosaic는 매우 신뢰할 수있는 마스크 및 웨이퍼 검사 툴로, 낮은 소유 비용과 간편한 업그레이드를 제공합니다. 자산의 엄격한 품질 보증 프로세스 (Quality Assurance Process) 는 모든 제품이 최고의 고객 만족도 표준을 준수하도록 보장합니다. 따라서, 이 모델은 집적 회로 마스크 및 웨이퍼 (wafer) 가 생산에 필요한 품질 사양 및 규정을 충족하도록 합니다.
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