판매용 중고 NANOMETRICS Caliper Mosaic #9378724

NANOMETRICS Caliper Mosaic
ID: 9378724
Overlay control system.
나노 메트릭 (NANOMETRICS) 캘리퍼 모자이크 (Caliper Mosaic) 는 강력한 마스크 및 웨이퍼 검사 시스템으로 마이크로 전자 제조 산업에 매우 정확한 임계 크기 및 물리적 결함 감지를 제공합니다. 이 제품은 최첨단 광학 및 레이저 도량형을 사용하여 처리량 (throughput) 을 최적화하고 웨이퍼 (wafer) 및 마스크 (mask) 생산의 각 단계에 대한 품질 관리 기능을 제공합니다. 캘리퍼 모자이크 (Caliper Mosaic) 는 고급 광학 설계 및 레이저 스캔 기술을 사용하여 마스크 레벨, 기판 단계, 오버레이 오류 및 이미지 품질 매개변수의 프로파일을 정확하게 측정합니다. 이 시스템은 가시 광원 (visible light) 이나 근적외선 (near-infrared light) 의 파장을 사용하여 웨이퍼 (wafer) 또는 마스크 (mask) 의 표면 및 서브면 피쳐를 모두 캡처하고 미묘한 결함 및 비조종성을 신속하게 감지합니다. 그런 다음 포착 된 이미지는 다크 필드 현미경 (dark-field microscopy), 간섭 현미경 (interference microscopy) 또는 둘 다의 조합과 같은 기술을 사용하여 분석됩니다. NANOMETRICS Caliper Mosaic은 선과 공간, 임계 크기, 필름 스택 두께, 저항 범위 범위, 오버레이 오류, 임계 영역 계산, 표면 거칠기 등 다양한 물리적 특징을 분석 및 측정 할 수 있습니다. 또한 웨이퍼 (wafer) 또는 마스크의 표면과 지표면 모두에서 구덩이, 긁힘, 디어 미네이션, 오염 물질, 얼룩 등의 결함을 감지하고 측정 할 수 있습니다. 이 시스템은 또한 다양한 기능을 제공하여 대용량 (high-volume) 생산에 이상적인 솔루션이 됩니다. 여러 주요 마스크 얼라이너 (mask aligner), 스텝 퍼 (stepper), 프린터와 통합하여 광범위한 업계의 제조업체가 쉽게 이용할 수 있습니다. 캘리퍼 모자이크 (Caliper Mosaic) 는 모든 설정과 모니터가 터치스크린 인터페이스를 통해 제어되어 매우 자동화되었습니다. 또한 여러 계층의 보안 프로토콜을 통해 무단 인력 액세스를 보호할 수 있습니다 (영문). 나노 메트릭 (Nanometrics) 캘리퍼 모자이크 (Caliper Mosaic) 는 지속적으로 확장되는 마이크로 전자 산업을위한 제품 제조의 품질과 신뢰성을 보장하기위한 믿을 수있는 도구입니다. 정밀도, 정확성, 자동 기능, 주요 장치 및 장비와의 상호 운용성을 통해 높은 수준의 결함 감지 (defect detection) 를 보장할 수 있습니다.
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