판매용 중고 NANOMETRICS Caliper Elan #9390468

NANOMETRICS Caliper Elan
ID: 9390468
Overlay metrology system.
NANOMETRICS Caliper Elan은 마스크 및 웨이퍼 검사를위한 안정적이고 견고한 플랫폼입니다. 높은 정확도와 3D 이미징 기능을 결합하여 최고 품질의 마스크와 웨이퍼를 보장합니다. 이 장비는 고급 이미징 (advanced imaging) 기술을 활용하여 결함 구조를 분석하고 빠르고 정확하게 웨이퍼 정렬 작업을 수행합니다. 캘리퍼 엘란 (Caliper Elan) 은 고해상도의 마스크와 웨이퍼에서 결함을 효율적으로 찾고 분류하도록 설계되었습니다. 고해상도 이미지 캡처 시스템 (High-Resolution Image Capture System), 고속 스테이지 (High Speed Stage) 및 결함을 감지하고 분류하는 고급 이미지 알고리즘이 특징입니다. 이 장치는 2.5 미크론 해상도로 이미지를 캡처 할 수 있습니다. 게다가, 각 "웨이퍼 '의 여러" 이미지' 들 을 동시 에 분석 해 보면, 더욱 빠르고 효율적 인 검사 과정 을 수행 할 수 있다. 이 기계는 또한 다양한 결함 특성 및 분석을 제공합니다. 입자, 구덩이, 반바지, 패턴의 입자, 언더 필의 결함, 라인 반바지, 선-선 접점, 고밀도의 구조를 분류 할 수 있습니다. 또한, 3D 특성 및 측정 기능을 제공하여 마스크 또는 웨이퍼 (wafer) 의 품질에 영향을 줄 수 있는 모든 유형의 결함을 쉽게 감지할 수 있습니다. 또한 NANOMETRICS 캘리퍼 엘란 (Caliper Elan) 은 다른 웨이퍼 간의 정확하고 반복 가능한 정렬을 위해 설계된 자동 웨이퍼 정렬 및 위치 도구를 갖추고 있습니다. 이 기능은 큰 웨이퍼와 패널에 특히 유용합니다. 즉, 정확한 정렬이 필수적이며, 특히 정확한 결함 검사를 위해 필요합니다. 에셋을 사용하면 X-Y 평면 또는 수직 Z 축을 따라 웨이퍼를 정렬할 수 있으며, +/- 3 호 분 내에 각도 정확도와 반복성이 있습니다. Caliper Elan은 NANOMETRICS 제조 장비와 완벽하게 통합되어 다른 웨이퍼 처리 장비, 데이터 획득 및 정렬 시스템과 원활하게 연결할 수 있습니다. 또한 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface) 를 통해 모델의 탐색과 사용을 단순화할 수 있습니다. 전반적으로 NANOMETRICS Caliper Elan은 일체형 마스크 및 웨이퍼 검사 장비로, 고해상도 이미징 및 결함 특성 기능을 제공하여 고품질 마스크와 웨이퍼를 제공합니다. 신뢰성이 높고, 견고하며, 검사 프로세스의 정확성과 효율성을 향상시키는 데 전념합니다.
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