판매용 중고 NANOMETRICS Caliper Elan #9378705

NANOMETRICS Caliper Elan은 생산 등급 패턴 검사에 사용되는 최첨단 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 레티클, 마스크 결함, 웨이퍼 결함, 인쇄 회로 기판, 나노 스케일 리소그래피 결함 등 다양한 기판에서 패턴을 빠르고 정확하게 감지하도록 설계되었습니다. 이 시스템은 다양한 패턴 (pattern) 및 결함 감지 (defect detection) 기능을 제공하며, 다양한 프로덕션 프로세스의 잠재적 문제를 신속하게 파악할 수 있습니다. 이 장치는 고급 옵틱, 이미징, 전기 감지 기술을 활용하여 대상 영역을 정확하게 스캔, 이미지, 검사합니다. 기계의 광학은 레이저 조명, LED 조명 및 waveguide 기술을 사용하여 정확한 결함 감지 및 이미징을 보장합니다. 이미징 도구 (Imaging Tool) 는 넓은 시야를 제공하는 여러 개의 카메라로 구성되어 있어 고해상도 (high resolution) 에서 매우 상세한 이미지를 캡처할 수 있습니다. 또한, 이 모델은 자동 광학 도량형 (Optical Metrology) 기술을 사용하여 패턴 특성, 선 너비, 임계 치수 및 기타 주요 매개변수를 측정 할 수 있습니다. 장비의 전기적 측면에서, 이것은 다양한 전기 감지 기술을 사용하여 생산의 전기 문제 (예: 개방형 회로, 단회로 결함) 를 감지하고, 또한 누출 전류 (leakage current) 와 같은 일반적인 전기 특성을 결정할 수 있습니다. 이 시스템은 이러한 다른 감지 기술과 고급 패턴 인식 (advanced pattern recognition) 알고리즘을 결합하여 대상 기판의 패턴을 분석합니다. 이를 통해 장치는 잠재적 마스크 결함, 웨이퍼 결함 또는 기타 프로세스 관련 문제를 신속하게 식별할 수 있습니다. 마지막으로, 기계는 도량형 (metrology) 및 색상 매핑 (color mapping) 을 포함하여 다양한 형식의 고속, 고해상도 결과를 제공 할 수 있습니다. 캘리퍼 엘란 (Caliper Elan) 은 또한 다양한 소프트웨어 및 하드웨어 옵션을 제공하여 사용자가 원하는 대로 도구를 조정할 수 있습니다. 최고의 이미징 및 전기 기술을 결합하여 NANOMETRICS 캘리퍼 엘란 (Caliper Elan) 은 대상 패턴에 대한 정확하고 자세한 정보를 제공합니다. 이것은 생산 등급 패턴 검사에 이상적인 선택입니다.