판매용 중고 NANOMETRICS Caliper Elan #9298745

나노 메트릭 캘리퍼 엘란 (NANOMETRICS Caliper Elan) 은 반도체 마스크 및 웨이퍼에 결함의 존재, 위치 및 크기를 정확하게 측정하고 기록하도록 설계된 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 자동화 된 광학 현미경 단위와 정밀 측정 단계를 사용합니다. 광학 현미경은 영상을 위해 저전력 오브젝티브 렌즈 (objective lenses) 와 고출력 스테레오 확대 (stereo magnification) 를 제공하며 적외선 및 자외선 파장을 포함한 다중 스펙트럼 이미징을 제공하도록 설계되었습니다. 정밀 측정 단계는 매우 낮은 관성 운동, 빠른 안정 시간, 우수한 운동 충실도를 제공합니다. 이 기계는 마스크 (Mask) 나 웨이퍼 (Wafer) 의 모든 생산 레이어를 그 어느 때보 다 자세히 검사할 수 있습니다. 정교한 알고리즘과 자동 측정 (automated measurements) 을 사용하여 모든 크기의 결함을 감지하고 분류하고, 위치와 크기를 결정할 수 있습니다. 따라서 결함 을 식별 하고 해결 할 수 있을 뿐 아니라, 더 큰, 문제 가 되는 결함 이 그 근원 으로 추적 된다. Caliper Elan은 고급 3D 및 중요 치수 (CD) 감독 기능도 갖추고 있습니다. 따라서 복잡한 레이어의 구조와 구조, 중요한 개별 치수의 이상 (anomalies), 또는 지형의 불일치 (misalignment) 또는 형태 차이 (shape difference) 에서 중요한 치수를 신속하게 이해하고 검사 할 수 있습니다. 또한, 이 도구는 측면 각도, 다이 크기, 투명도에 대한 구성 요소 검사를 수행할 수 있으며, 빠르고 정확한 진단을 가능하게 합니다. 마지막으로 NANOMETRICS Caliper Elan 자산은 프로그래밍 가능한 템플릿과 사용자 정의 가능한 보기를 갖춘 사용자 친화적 인 GUI를 제공합니다. 직관적인 플랫폼은 손쉬운 데이터 수집 및 효율적인 보고 기능을 제공합니다. 통계 검토 및 보고 기능이 내장되어 있으므로 표준 호환 웨이퍼 (wafer) 및 마스크 맵 (mask map) 을 생성할 수 있으며, 수율에 대한 신뢰와 장애 분석 지원을 제공합니다. 전반적으로 Caliper Elan은 고효율 마스크 및 웨이퍼 검사 모델입니다. 초고품질 (HP) 제품을 빠르고 정확하게 생산해야 하는 반도체 생산업체에게는 탁월한 이미징 (Imaging) 및 분석 (Analysis) 기능을 제공합니다.