판매용 중고 NANOMETRICS Caliper Elan #293825603

NANOMETRICS Caliper Elan은 마스크 및 웨이퍼 검사를 위해 설계된 최첨단 고정밀 기기입니다. 특유의 다목적 장비에는 "패턴 레이어 (pattered layer) '에서도" 나노미터 스케일 (nanometer-scale)' 까지 기능 크기를 빠르고 정확하게 검사할 수 있는 일련의 측정 기능이 함께 제공됩니다. 캘리퍼 엘란 (Caliper Elan) 은 포토 마스크, 나노 재료, 쿼츠 기판 및 무늬 레이어를 포함한 다양한 재료와 호환되며 검사 중 결함의 감지를 최적화하면서 놀라운 이미징 성능을 제공합니다. 이 시스템은 마스크 및 웨이퍼를 검사하기 위해 고해상도 카메라 2 대와 내장형 레이저 스캐닝 장치를 결합합니다. 이 설정을 사용하면 2차원 (2D) 및 3차원 (3D) 관점에서 마스크 및 웨이퍼 샘플의 이미지를 캡처할 수 있습니다. 하향식 카메라는 세부적인 수평 뷰를 캡처하고, 측면 카메라는 측면 뷰로 사진을 기록합니다. 고해상도 레이저 스캐닝 머신은 샘플의 여러 개의 단면 이미지를 생성하는 LiDAR 센서로 구성됩니다. 이러한 여러 개의 횡단면 이미지는 샘플의 3D 디지털 모델로 재구성되어 사용자가 피쳐의 형태, 방향, 위치를 시각화 (Visualize) 할 수 있습니다. NANOMETRICS Caliper Elan은 고급 도량형 도구 플랫폼도 갖추고 있습니다. 이러한 도구를 사용하면 나노미터 스케일 기능에서도 매우 정확한 측정이 가능합니다. 간편한 GUI (Graphical User Interface) 를 통해 사용자가 기능 데이터와 폭을 쉽게 캡처할 수 있습니다. 이 도구의 내장 (BIST) 다중 탐지 알고리즘은 구별하기 어려운 패턴에서도 결함과 이상을 식별 할 수 있습니다. 자동 초점 (auto-focus), 진동 모드 (vbration mode), 광학 흐름 알고리즘 (optical flow algorithm) 과 같은 보충 도구를 사용하여 정확성과 정확성이 더욱 향상되었습니다. 공구의 검사 기능 외에도 여러 에너지 원, 가변 파장 필터, 자동 조명 제어 (auto-illumination control) 등 다양한 기능을 제공합니다. 이 최첨단은 사용자가 가시광선 (visible light), 자외선 (UV) 또는 적외선 조명 (infra-red lumination) 중에서 선택하여 특정 재료를 분석하여 검사의 효율성과 정확성을 높일 수 있도록 합니다. 자산에 맞게 개발된 NumRun (TM) 소프트웨어는 대용량 검사 데이터를 관리하는 데 도움이 되며, 이를 통해 부품을 서로 비교하여 위치 (positional) 정확도를 확인할 수 있습니다. 요약하면, Caliper Elan은 마스크 및 웨이퍼 검사를 위해 설계된 고정밀 기기입니다. 두 개의 고해상도 카메라, 레이저 스캐닝 모델 (laser scanning model) 및 도량형 도구 (metrology tools) 의 조합은 가장 작은 기능에서도 놀라운 이미징 기능과 높은 정확도를 측정합니다. 내장된 다중 탐지 알고리즘 및 "에너지 '소스는 검사 효율성과 정확성을 극대화합니다. NumRun ™ 소프트웨어는 또한 많은 양의 검사 데이터를 관리하는 데 도움이 됩니다.