판매용 중고 NANOMETRICS / BIO-RAD / ACCENT S-100 #77232

NANOMETRICS / BIO-RAD / ACCENT S-100
ID: 77232
웨이퍼 크기: 3"-6"
Qualimatic laser wafer inspection station , 3"-6" capability.
NANOMETRICS/BIO-RAD/ACCENT S-100은 고정밀 인라인 측정 및 분석을 위해 설계된 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 광학 리소그래피 마스크 및 웨이퍼 및 3 차원 (3D) 지연 매핑에 대한 포괄적 인 검사를 수행 할 수 있습니다. 이 시스템은 고급 광학 기술 (Optical Technologies) 을 활용하여 안정적이고 반복 가능한 결과와 함께 뛰어난 이미징 성능을 제공합니다. ACCENT S-100은 서브 마이크론 해상도 (sub-micron resolution) 로 고해상도 이미지를 캡처하여 작은 결함 및 변형을 감지 할 수 있습니다. 또한 강력한 소프트웨어 도구를 사용하여 다양한 측정 (예: 선 너비, 지형, 기타 광학 매개변수) 을 수행할 수 있습니다. 또한, 이 장치는 반도체, 금속, 유리 및 광학 코팅을 포함한 다양한 재료에 대한 경계 영역 및 피쳐 매개변수를 측정 할 수 있습니다. BIO-RAD S-100 모듈식 설계를 통해 사용자는 시스템을 특정 요구 사항에 맞게 구성할 수 있습니다. 조명 장치, 웨이퍼 스캔 단계, 필드 카메라, 이미지 분석 장치 등 4 가지 구성 요소로 구성됩니다. 조명 장치 (lumination unit) 는 다양한 각도와 강도의 빛을 제공하여 가장 높은 수준의 세부 (detail) 와 정확도를 가진 이미지를 캡처합니다. 웨이퍼 스캐너 (wafer scanner) 는 필드 카메라와 관련하여 웨이퍼를 이동하여 표면 및 복잡한 피쳐를 완전히 검사하는 기능을 제공합니다. 필드 카메라는 양극 상태 (또는 제외) 를 사용하여 고해상도 이미지와 저배율 이미지를 모두 캡처합니다. S-100 의 이미지 분석 (image analysis) 기능을 통해 기존 이미지와 새 이미지를 비교하여 웨이퍼 (wafer) 의 구조 기능 변경 사항을 감지하고 결과 차이를 평가할 수 있습니다. 또한 많은 수의 이미지를 빠르고 정확하게 처리하고, 상세한 보고서를 작성하는 데 사용할 수 있는 데이터를 수집할 수 있습니다 (영문). 나노메트릭 (NANOMETRICS) S-100은 성능 기능 외에도 제조 능력을 고려하여 설계되었으므로 대용량 생산 라인에 통합될 수 있습니다. 수집된 이미지를 지속적으로 분석하는 고급 알고리즘 (advanced algorithm) 에 의해 구동되며, 검사 프로세스의 모든 단계에서 높은 정확도와 반복성이 일관되게 유지됩니다. NANOMETRICS/BIO-RAD/ACCENT S-100 마스크 및 웨이퍼 검사 도구는 고정밀 감지, 측정 및 분석을위한 강력한 도구입니다. 탁월한 이미징 성능을 위한 고급 광학 기술과 더불어 안정적이고 반복 가능한 결과를 제공합니다 (영문). 고급 알고리즘 (Advanced Algorithm) 은 검사 프로세스의 모든 단계에서 정확성과 반복성을 보장하므로 대용량 생산 라인에 이상적입니다.
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